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唐利
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
重庆光电技术研究所
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相关领域:
电子电信
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合作作者
汪凌
重庆光电技术研究所
李贝
重庆光电技术研究所
廖晓航
重庆光电技术研究所
任利平
重庆光电技术研究所
袁安波
重庆光电技术研究所
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重庆光电技术...
作者
3篇
汪凌
3篇
唐利
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刘方
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廖乃镘
1篇
韩恒利
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袁安波
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任利平
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廖晓航
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李贝
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2014
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2013
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CCD片上放大器直流输出电压影响因素分析
2013年
对电荷耦合器件(CCD)片上放大器直流输出电压的主要影响因素进行了研究,通过对不同源漏工艺、不同栅下注入剂量工艺条件对直流输出的影响分析,指出有效沟道长度和放大管栅下注入是CCD片上放大器直流输出电压的主要影响因素。
韩恒利
汪凌
唐利
吕玉冰
廖乃镘
关键词:
CCD
光刻胶斜坡对离子注入后图形特征尺寸的影响
被引量:1
2008年
分析了光刻图形侧墙斜坡对离子注入后图形特征尺寸的影响。采用工艺实验测定了斜坡处不同光刻胶厚度屏蔽离子注入的效率,并通过工艺监测确定g线光刻的图形侧墙斜坡角度。定量分析了g线光刻典型的斜坡角度下图形侧墙对离子注入后图形特征尺寸的影响。该研究结果可为CCD的设计和工艺制作提供参考。
刘方
汪凌
袁安波
唐利
李贝
关键词:
离子注入
特征尺寸
热载流子效应对CCD片上放大器寿命的影响
被引量:1
2014年
针对CCD片上放大器的寿命进行了研究。通过设计独立的MOSFET,使用衬底电流模型进行热载流子效应分析,研究其特性参数Gm退化量与退化时间关系,由此评价组成CCD片上放大器的寿命。研究结果表明,CCD片上放大器寿命随着栅长的减小而降低,制作LDD结构可提高CCD片上放大器寿命。
汪凌
唐利
廖晓航
任利平
关键词:
CCD
放大器
热载流子效应
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