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胡增辉
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华北光电技术研究所
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合作作者
董瑞清
华北光电技术研究所
王迎
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周立庆
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刘兴新
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2002年全...
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2002
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单温区碲镉汞液相外延技术的研究
采用单温区碲化汞补偿相外延法,通过液相延舟的设计、温度参数和氢气流量的选择,在碲锌镉衬义上成功外延出碲匐汞液相外延膜.液相外延膜的组份均匀性、表面形貌、X光形貌和电性能参数均较好.
周立庆
刘兴新
王金义
董瑞清
王迎
胡增辉
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碲镉汞薄膜
液相外延
红外探测器
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