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徐杨
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19
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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中国科学院科研项目
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
王盛凯
中国科学院微电子研究所
王英辉
中国科学院微电子研究所
刘洪刚
中国科学院微电子研究所
许维
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
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王盛凯
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
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王英辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
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刘洪刚
供职机构:桂林电子科技大学
研究主题:沟道 迁移率 衬底 半导体器件 硅基
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李泠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 晶体管 电极 介质层 沟道
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许维
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 热压键合 点压 合法 晶圆片
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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孙兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:迁移率 沟道 锗 硅基 衬底
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常虎东
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 沟道 界面态密度 迁移率 半导体器件
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孟莹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:红外光源 表面活化 MEMS 键合界面 气体传感器
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