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许维
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
刘洪刚
中国科学院微电子研究所
王盛凯
中国科学院微电子研究所
徐杨
中国科学院微电子研究所
王英辉
中国科学院微电子研究所
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
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王盛凯
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微波等离子体 衬底 含氧气体 沟道 键合
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供职机构
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刘洪刚
供职机构:桂林电子科技大学
研究主题:沟道 迁移率 衬底 半导体器件 硅基
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所获资助
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王英辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
徐杨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:薄膜晶体管 键合 点压 热压键合 沟道
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