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张思敏

作品数：3 被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

领域

  • 6个电子电信
  • 6个自动化与计算...
  • 5个电气工程
  • 5个一般工业技术
  • 5个理学
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  • 4个金属学及工艺
  • 4个机械工程
  • 4个文化科学
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  • 1个矿业工程
  • 1个水利工程
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个农业科学

主题

  • 5个氮原子
  • 5个等离子体
  • 5个电场
  • 5个电极
  • 5个电器
  • 5个电源
  • 5个多晶
  • 4个单晶
  • 4个电导
  • 4个电机
  • 4个电路
  • 4个电学
  • 4个电学性质
  • 3个氮化碳
  • 3个氮化碳薄膜
  • 3个氮化镓
  • 3个氮化镓薄膜
  • 3个氮气
  • 3个导流
  • 3个等离子体刻蚀

机构

  • 6个中国科学院微...
  • 2个中国科学院
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学技术...
  • 1个中国科学院大...
  • 1个嘉兴科民电子...

资助

  • 5个国家自然科学...
  • 4个中国科学院科...
  • 3个国家科技重大...
  • 2个北京市自然科...
  • 2个国家高技术研...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个北京市科技计...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个应用光学国家...
  • 1个中国科学院知...

传媒

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  • 4个半导体技术
  • 4个2014中国...
  • 3个光学学报
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  • 3个材料导报
  • 3个现代电子技术
  • 3个材料导报（纳...
  • 3个真空科学与技...
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  • 2个2010年全...
  • 2个第十四届全国...
  • 2个2010’全...

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程嵩
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 电极 氧化锌 氮原子 变电
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙铁成
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：蚁群算法 PID控制 信息素
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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