2024年8月26日
星期一
|
欢迎来到维普•公共文化服务平台
登录
|
进入后台
[
APP下载]
[
APP下载]
扫一扫,既下载
全民阅读
职业技能
专家智库
参考咨询
您的位置:
专家智库
>
>
张阳
作品数:
27
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
更多>>
发文基金:
国家科技重大专项
国家高技术研究发展计划
更多>>
相关领域:
电子电信
一般工业技术
更多>>
合作作者
李超波
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
解婧
中国科学院微电子研究所
卢维尔
中国科学院微电子研究所
董亚斌
中国科学院微电子研究所
作品列表
供职机构
相关作者
所获基金
研究领域
人物
机构
主题
传媒
资助
领域
任意字段
机构
人物
主题
传媒
资助
领域
任意字段
在结果中检索
领域
10个
电子电信
9个
一般工业技术
8个
理学
7个
化学工程
7个
金属学及工艺
7个
电气工程
7个
自动化与计算...
5个
机械工程
4个
文化科学
2个
交通运输工程
2个
航空宇航科学...
2个
农业科学
1个
经济管理
1个
天文地球
1个
动力工程及工...
1个
建筑科学
1个
环境科学与工...
1个
核科学技术
1个
医药卫生
主题
9个
等离子体
9个
氧化锌
9个
原子层沉积
7个
等离子
7个
电场
6个
等离子体浸没...
6个
电池
6个
电路
5个
单晶
5个
氮化
5个
氮化镓
5个
导电
4个
带隙
4个
单点
4个
氮化铝
4个
氮原子
4个
等离子体处理
4个
等离子体刻蚀
4个
等离子体增强
3个
等离子喷涂
机构
11个
中国科学院微...
4个
浙江大学
3个
嘉兴科民电子...
2个
中国科学院
2个
中国科学技术...
1个
北京大学
1个
北京科技大学
1个
北京有色金属...
1个
清华大学
1个
中国科学院微...
1个
杭州中科微电...
1个
中国科学院大...
1个
华进半导体封...
1个
中国科学院嘉...
资助
9个
国家科技重大...
8个
国家自然科学...
7个
中国科学院科...
5个
国家高技术研...
5个
国家重点基础...
3个
北京市自然科...
3个
中国博士后科...
3个
中国科学院知...
2个
北京市科技计...
2个
中国科学院知...
1个
北京市科技新...
1个
国家科技攻关...
1个
教育部科学技...
1个
浙江省科技攻...
1个
北京市教委科...
1个
浙江省重大科...
1个
“九五”国家...
1个
北京市科委项...
1个
国家科技部专...
1个
嘉兴市科技计...
传媒
7个
半导体技术
7个
物理学报
7个
真空科学与技...
6个
无机材料学报
6个
微纳电子技术
4个
Journa...
4个
光学学报
4个
发光学报
4个
现代电子技术
3个
太阳能学报
3个
激光与光电子...
3个
光电工程
3个
材料导报(纳...
3个
传感器与微系...
2个
北京科技大学...
2个
红外与激光工...
2个
电子工艺技术
2个
电子学报
2个
物理
2个
金属热处理
地区
11个
北京市
共
11
条 记 录,以下是 1-10
全选
清除
导出
李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
解婧
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 掺杂
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
卢维尔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
董亚斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氧化锌薄膜 共掺 受主 原子层沉积 锌源
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
罗巍
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 活化处理 晶圆 石墨烯 石墨
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS 等离子体
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张祥
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化铝 A1 硅太阳电池 钝化
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
窦伟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:离子注入 脉冲电源 等离子体 高密度等离子体 微电子领域
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
饶志鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
全选
清除
导出
共2页
<
1
2
>
聚类工具
0
执行
隐藏
清空
用户登录
用户反馈
标题:
*标题长度不超过50
邮箱:
*
反馈意见:
反馈意见字数长度不超过255
验证码:
看不清楚?点击换一张