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解婧

作品数：90 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术一般工业技术电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 89篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 12篇自动化与计算...
  • 6篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇理学

主题

  • 23篇氧化锌薄膜
  • 19篇共掺
  • 18篇受主
  • 16篇原子层沉积
  • 12篇金属
  • 12篇掺杂
  • 12篇衬底
  • 11篇芯片
  • 10篇锌源
  • 10篇传感
  • 9篇施主
  • 9篇感器
  • 9篇传感器
  • 8篇石墨
  • 8篇石墨烯
  • 8篇纳米
  • 6篇电学
  • 6篇电学性质
  • 6篇氧化锌
  • 6篇阵列

机构

  • 90篇中国科学院微...

作者

  • 90篇解婧
  • 84篇李超波
  • 51篇夏洋
  • 30篇卢维尔
  • 18篇张阳
  • 15篇刘金虎
  • 14篇李楠
  • 14篇范涛
  • 10篇罗巍
  • 10篇屈芙蓉
  • 8篇郜晨希
  • 8篇董亚斌
  • 4篇张庆钊
  • 3篇赵丽莉
  • 1篇石莎莉
  • 1篇杨进
  • 1篇万军
  • 1篇李勇滔
  • 1篇郭晓龙
  • 1篇冯嘉恒

年份

  • 6篇2024
  • 4篇2023
  • 12篇2022
  • 5篇2021
  • 13篇2020
  • 5篇2019
  • 2篇2018
  • 6篇2017
  • 12篇2016
  • 4篇2015
  • 17篇2014
  • 4篇2013
共 90 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于金属微观结构的精密模具
本发明实施例提供的一种基于金属微观结构的精密模具，包括：衬底；牺牲层，所述牺牲层附着于所述衬底上；结构层，所述结构层嵌于所述牺牲层内，且所述结构层的底面位于所述牺牲层内部；三维结构内部腔体，所述三维结构内部腔体位于所述结...
解婧王欢郜晨希邢建鹏李超波
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石墨烯晶片的制备方法
本发明提供一种石墨烯晶片的制备方法，包括对需要沉积石墨烯晶片的衬底和石墨材料表面进行活化处理；通过离子注入方法控制石墨烯的厚度；将衬底与石墨表面接触，施加外物理场使石墨烯晶片从石墨材料表面剥离下来并沉积到衬底表面。本发明...
夏洋李超波解婧罗巍张阳
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基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法
本发明公开一种基于氮的施主-受主共掺氧化锌薄膜的制备方法，包括将基片放入ALD反应腔室中，对基片及腔室管道进行加热，然后依次进行多组分的复合沉积；所述复合沉积包括在第一次锌源沉积后，分别引入一次包含III主族元素X的施主...
卢维尔夏洋李超波张阳解婧董亚斌
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一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法
本发明公开了一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法，属于氧化锌薄膜制备技术领域。所述方法包括：原子层沉积设备通入含锌源气体和含氧源气体，在原子层沉积设备反应腔中的硅衬底表面生长氧化锌薄膜；原子层沉积设备通入含铝源气体和含氧...
张阳董亚斌卢维尔解婧李超波夏洋
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一种晶圆级阳极键合方法
本发明涉及一种晶圆级阳极键合方法。所述晶圆级阳极键合方法，包括如下步骤：将待键合的硅或金属样片和玻璃样片浸泡到清洗液中清洗；将清洗后的硅或金属样片和玻璃样片吹干，放入键合装置中，一边加热，一边抽真空，到达预设工作温度和真...
罗巍解婧张阳李超波夏洋
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一种热塑性芯片的键合方法
本发明提供了一种热塑性芯片的键合方法，属于芯片键合技术领域，所述方法包括：通过溶剂键合的方式将两块热塑性芯片进行预键合，获得预键合体；将所述预键合体进行加压并浸没于40～80℃的水中，在0.5～5MPa压力下进行水浴键合...
王欢解婧邢建鹏范涛刘金虎宋宏岩李超波
一种氧化锌薄膜的制备方法
本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法，包括如下步骤：（1）向放置衬底的原子层沉积设备反应腔中通入含锌前驱体源，含锌前驱体源中的锌原子吸附于衬底表面；（2）通入含氮前驱体源，然后通过等离子体将含氮前驱体源电离，或将经过等离...
解婧李超波夏洋
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一种纳米线传感器及其制备方法
本发明公开了一种纳米线传感器及其制备方法。该纳米线传感器，包括：衬底；传感元件，位于所述衬底的表面，所述传感元件包括若干纳米线传感单元。本发明中的纳米线传感单元在衬底上形成了若干个传感区域，每个纳米线传感单元均能够独立感...
解婧宋宏岩邢建鹏王欢范涛刘金虎李超波
微流体芯片
本申请实施例提供了一种微流体芯片，包括：流体反应单元，流体反应单元包括进样端和出样端；进样管道，连通于流体反应单元的进样端；出样管道，连通于流体反应单元的出样端；第一气管，连通于进样管道；第二气管，连通于出样管道。该微流...
刘金虎李超波范涛解婧邢建鹏王欢
原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜的方法
本发明公开一种原子层沉积制备共掺的氧化锌薄膜的方法，包括将基片放入ALD反应腔室中，对基片及腔室管道进行加热，然后进行多组分的复合沉积；所述复合沉积包括在第一次锌源沉积后，分别引入一次包含III主族元素X的施主掺杂源的掺...
卢维尔夏洋李超波解婧李楠
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