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张阳

作品数：27 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
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