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邵凯
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杭州士兰集成电路有限公司
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电子电信
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合作作者
杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
夏志平
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刘鹏
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赵金波
杭州士兰集成电路有限公司
李云飞
杭州士兰集成电路有限公司
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杨彦涛
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:沟槽 功率器件 功率半导体器件 半导体 接触孔
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刘鹏
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:减薄 尺寸 衬片 裂缝 贴片
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夏志平
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研究主题:功率器件 沟槽 半导体器件 功率半导体器件 隔离层
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向璐
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研究主题:沟槽 功率器件 光刻设备 接触孔 套刻
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陈琛
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研究主题:功率半导体器件 沟槽 屏蔽导体 栅极 槽栅
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