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顾杰斌
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
李昕欣
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘冰杰
中国科学院上海微系统与信息技术...
杨恒
中国科学院上海微系统与信息技术...
郑涛
中国科学院上海微系统与信息技术...
叶挺
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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刘冰杰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:通孔 金属合金 面板 下表面 微腔
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杨恒
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
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张超
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 存储器 本征半导体 二极管阵列 电阻
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郑涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅基板 深坑 电感 平面线圈 减薄
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徐高卫
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装结构 子层 湿法腐蚀 电镀
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吴天如
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 衬底 化学气相沉积 场效应管 单晶
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叶挺
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 焊球 陶瓷基 衬底 管脚
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罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
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