李昕欣
- 作品数：522 被引量：367H指数：10
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程理学更多>>
- 基于MEMS芯片的磁性材料TEM表征技术
- 2023年
- 传统透射电子显微镜(TEM)以电磁场为透镜,通常情况下磁性材料不能直接在TEM下进行观测,一般使用以碳为支撑膜的双联铜网作为样品载网,但仍然有一定的破损概率。设计并实现了一种新型的基于微电子机械系统(MEMS)芯片的磁性材料TEM表征技术。该技术通过磁性TEM芯片和配套的样品杆,在TEM内形成一个密闭空间。将磁性样品上载到磁性TEM芯片上,从而实现在TEM下对磁性样品的安全观测。该芯片的核心结构是可以透射电子束的超薄氮化硅窗口,该窗口采用低压化学气相沉积(LPCVD)法制备,具有极高的机械强度,最高可以承受接近400 kPa的气压差。实验结果表明,利用该TEM表征技术可以在TEM下成功观测铁包硅和NiO两种磁性材料,分辨率可以达到原子级。
- 殷智伟张学林姚镭于海涛李昕欣
- 关键词：磁性材料氮化硅薄膜
- 一种热式气体流量传感器及其制备方法
- 本发明提供一种热式气体流量传感器及其制备方法，结构包括：衬底，包括凹槽，开设于衬底上表面；第一介质膜，位于凹槽上方，包括若干个第一介质膜单元及槽型结构，第一介质膜单元与衬底相连接，槽型结构贯穿第一介质膜且位于相邻第一介质...
- 王家畴薛丹李昕欣
- 基于MEMS技术微型质子交换膜燃料电池
- 本文采用MEMS制作工艺在半导体单晶Si上制作一种μPEMFC,该电池正负电极的活性面积均为1cm<'2>,采用Nafion112作隔膜,组装成的电池体积约为2ml(不包括氢源).电池工作时以氢气做燃料、以'自呼吸'方式...
- 王涛陈聪李巨峰张熙贵夏保佳李昕欣
- 关键词：质子交换膜燃料电池微机电系统化学电源
- 文献传递
- 一种带有频率自扫描功能的锁相环
- 本发明提供一种带有频率自扫描功能的锁相环，应用在传感器及其接口电路中，包括：用以输出一频率两倍于输入信号或参考信号且占空比为50%的方波信号的鉴相器，对方波信号的高、低电平持续时间进行计数的超前滞后计数器，预设有相位锁定...
- 柴光飞刘民李昕欣于海涛
- 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器被引量：2
- 2011年
- 文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。该芯片制造利用了表面微机械加工技术,以低应力氮化硅薄膜为结构材料,多晶硅作为压阻材料,引入了准LIGA的电镀铜工艺,实现了一款低成本、与IC制造工艺相兼容的压阻式加速度传感器。电镀的铜质量块使压阻输出获得了足够高的灵敏度。利用金属质量块和衬底形成的一对电极,实现了可片上检测器件是否正常工作的片上静电自检测功能。传感器测试结果表明,加速度输出灵敏度为25.1μV/g,-3 dB频率带宽为1.3 kHz.
- 魏长征周伟李昕欣
- 关键词：压阻式加速度传感器
- 一种红外探测器阵列及其制作方法
- 本发明提供一种红外探测器阵列及其制作方法，该红外探测器阵列的结构特点在于在非致冷红外探测器像素的悬桥结构上制作两组热敏单元B1和B2，在衬底上制作另外两组热敏单元S1和S2，再通过惠斯通电桥形式将这四组热敏单元连接起来，...
- 冯飞朱慧慧王跃林李昕欣
- 文献传递
- 高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究(中科院)
- 李昕欣王跃林张鲲熊斌陆德仁罗乐
- 该成果是通过技术发明研制微机械高冲击加速度传感器技术。根据国家重要工程和汽车工业等应用对该核心器件的大量需求，通过科技创新，研发了拥有系列专利技术的传感器。作为课题重要组成部分，得到863项目支持并验收通过。传感器芯片尺...
- 关键词：
- 关键词：微电子机械系统微机械传感器
- 原子力显微镜中微悬臂梁/探针横向力的标定被引量：4
- 2005年
- 利用微加工制造的微悬臂梁/探针尖已经广泛应用在微观表面性质测试和微纳米尺度加工等领域,成为微纳米研究领域中不可缺少的重要工具.为了能够定量研究原子力显微镜中探针与表面的相互作用力,需要对微悬臂梁/探针的力学性能进行表征.本文简要地论述了原子力显微镜中微悬臂梁的形变光反射原理和探针与表面的接触刚度理论,阐明了微悬臂梁横向力标定的重要性,综述了目前几种微悬臂梁/探针横向力的标定方法、简单的推倒过程和特点.
- 鲍海飞李昕欣王跃林
- 关键词：原子力显微镜微悬臂梁横向力探针表面性质标定方法
- 一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
- 本发明涉及一种用于检测由特异性分子结合产生表面应力的集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用，其特征在于采用SOI硅片的氧化埋层作为悬臂梁的主体，在上面构建薄层单晶硅压阻敏感器，压阻上面氧化形成薄二氧化硅。...
- 李昕欣李鹏左国民王跃林封松林
- 文献传递
- 一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
- 本发明涉及一种用于检测由特异性分子结合产生表面应力的集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用，其特征在于采用SOI硅片的氧化埋层作为悬臂梁的主体，在上面构建薄层单晶硅压阻敏感器，压阻上面氧化形成薄二氧化硅。...
- 李昕欣李鹏左国民王跃林封松林
- 文献传递
