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叶挺

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇悬臂
  • 2篇悬臂梁
  • 2篇陶瓷
  • 2篇陶瓷基
  • 2篇管脚
  • 2篇焊球
  • 1篇倒装
  • 1篇微机
  • 1篇芯片
  • 1篇芯片管脚
  • 1篇机械强度
  • 1篇衬底

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇李昕欣
  • 2篇顾杰斌
  • 2篇杨恒
  • 2篇叶挺

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种微机械芯片测试探卡及其制作方法
本发明提供一种微机械芯片测试探卡及其制作方法，在SOI衬底中定义悬臂梁图形，于悬臂梁的悬空端制作内壁绝缘的盲孔，于盲孔内制作探针，于悬臂梁表面制作金属引线，于悬臂梁的固定端制作焊球，正面刻蚀SOI形成悬臂梁结构，将焊球倒...
杨恒顾杰斌叶挺李昕欣
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一种微机械芯片测试探卡及其制作方法
本发明提供一种微机械芯片测试探卡及其制作方法，在SOI衬底中定义悬臂梁图形，于悬臂梁的悬空端制作内壁绝缘的盲孔，于盲孔内制作探针，于悬臂梁表面制作金属引线，于悬臂梁的固定端制作焊球，正面刻蚀SOI形成悬臂梁结构，将焊球倒...
杨恒顾杰斌叶挺李昕欣
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