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李赟

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

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中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：碳化硅 芯片 外延层 金属 刻蚀
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