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陈秀芳
作品数:
182
被引量:132
H指数:6
供职机构:
山东大学
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徐现刚
山东大学物理学院晶体材料国家重...
胡小波
山东大学物理学院晶体材料国家重...
彭燕
山东大学物理学院晶体材料国家重...
杨祥龙
山东大学物理学院晶体材料国家重...
蒋民华
山东大学物理学院晶体材料国家重...
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一种大直径SiC单晶生长装置及生长方法
本发明公开了一种大直径SiC单晶生长装置及生长方法,包括石墨保温毡、坩埚、感应线圈和电阻加热器,其中,所述坩埚置于石墨保温毡中,感应线圈位于石墨保温毡外侧,电阻加热器位于石墨保温毡内部,且位于坩埚的顶部或/和底部。采用感...
谢雪健
胡国杰
徐现刚
彭燕
胡小波
陈秀芳
王兴龙
一种用于生长接近平衡态SiC单晶的坩埚及SiC单晶的生长方法
本发明涉及一种用于生长接近平衡态SiC单晶的坩埚及SiC单晶的生长方法。该坩埚包括外坩埚和内坩埚;所述外坩埚为发热体,内坩埚为生长坩埚;所述外坩埚和内坩埚之间的间距为5~10mm。本发明提供的一种用于生长接近平衡态SiC...
胡小波
徐现刚
陈秀芳
彭燕
杨祥龙
文献传递
一种高均匀性、高产率半绝缘碳化硅衬底的制备方法
本发明涉及一种高均匀性、高产率半绝缘碳化硅衬底的制备方法。该方法包括:采用升华法将碳化硅源料加热至升华,根据剩余碳化硅源料形状判断温场情况,确定出高温区与次高温区域;在高温区与次高温区放置盛有掺杂剂的石墨坩埚;再填满源料...
彭燕
徐现刚
胡小波
陈秀芳
文献传递
一种利用金刚石线和金刚石砂浆同时切割6 英寸及以上尺寸SiC 单晶的方法
一种利用金刚石线和金刚石砂浆同时切割6英寸及以上尺寸SiC单晶的方法,包括:采用浸有金刚石砂浆的金刚石线对所述SiC单晶进行切割。本发明所述方法中,金刚石线上的金刚石颗粒被电镀在切割线上,不会随金刚石线的高速运动被甩出,...
陈秀芳
谢雪健
徐现刚
胡小波
一种基于石墨烯光学调Q开关的脉冲激光器
本发明涉及一种基于石墨烯光学调Q开关的脉冲激光器。包括泵浦源、前腔镜、激光增益介质和以碳化硅作为衬底的石墨烯调Q开关。其核心为石墨烯光学调Q开关,包括SiC衬底和生长在SiC衬底上面的石墨烯,载有石墨烯的一面朝向激光腔内...
于浩海
徐现刚
陈秀芳
张怀金
胡小波
王正平
王继扬
蒋民华
文献传递
一种SiC晶片的快速双面机械抛光方法
本发明涉及一种SiC晶片的快速双面机械抛光方法,属于晶体材料加工技术领域,方法包括步骤如下:1)、采用抛光机,磨料为金刚石微粉,将金刚石粉、分散剂、水按比例配成抛光液,设定机器转速20‑40rpm,压力为100‑500g...
陈秀芳
徐现刚
杨祥龙
彭燕
胡小波
王瑞琪
文献传递
AlN单晶生长研究进展
被引量:2
2006年
A lN是一种重要的半导体材料,由于具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等优越的特性,在微电子和光电子领域具有广泛的应用前景。本文综述了国际上A lN单晶生长的研究进展,对其结构特点、生长方法的选择、生长过程中的问题及存在的结构缺陷等方面进行了介绍。
李娟
胡小波
姜守振
陈秀芳
李现祥
王丽
徐现刚
王继扬
蒋民华
关键词:
氮化铝
一种去除 SiC 衬底外延石墨烯缓冲层的光电化学刻蚀方法
本发明涉及一种去除SiC衬底外延石墨烯缓冲层的光电化学刻蚀方法,包括步骤如下:(1)将SiC衬底外延石墨烯晶片连接金属铟,作为工作电极;以饱和甘汞电极或银/氯化银电极作为参比电极,铂电极作为对电极,以KOH溶液作为刻蚀液...
陈秀芳
孙丽
徐现刚
赵显
文献传递
一种在大直径6H/4H‑SiC硅面和碳面双面同时生长石墨烯的方法
本发明涉及一种在大直径6H/4H‑SiC硅面和碳面双面同时生长石墨烯的方法。该方法包括:将6H/4H‑SiC晶片硅面和碳面进行抛光、清洗,将加工好的6H/4H‑SiC晶片平放在单晶生长炉坩埚中的石墨托架上,碳面朝下;升温...
陈秀芳
杨志远
孙丽
徐现刚
赵显
文献传递
沿[1 ■00]方向升华法生长6H-SiC单晶
2007年
本文采用升华法沿着垂直于c轴方向的[1 ■00]方向生长6H-SiC单晶。利用光学显微镜对晶体表面及腐蚀后的晶片进行观察,发现沿[1 ■00]方向生长出的单晶与传统方法沿[0001]方向生长单晶有很多的不同之处,多型对于籽晶的继承性非常强,但是在生长过程中多型夹杂不会发生,该方法生长的晶体中没有发现螺位错(微管)缺陷。
姜守振
李娟
陈秀芳
王英民
宁丽娜
胡小波
徐现刚
王继杨
蒋民华
关键词:
SIC
微管
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