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李楠

作品数：131 被引量：19H指数：3
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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