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赵丽莉

作品数：69 被引量：14H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 63篇专利
  • 6篇期刊文章

领域

  • 11篇电子电信
  • 10篇理学
  • 7篇机械工程
  • 6篇文化科学
  • 4篇一般工业技术
  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 12篇原子层沉积
  • 9篇等离子体
  • 8篇离子注入
  • 7篇波带片
  • 6篇阵列
  • 6篇激光
  • 6篇半导体
  • 5篇特性参数
  • 5篇腔体
  • 5篇注入机
  • 5篇功率
  • 5篇光学
  • 5篇菲涅耳
  • 4篇碘化
  • 4篇碘化亚铜
  • 4篇动镜
  • 4篇衍射
  • 4篇衍射效率
  • 4篇有机半导体
  • 4篇真空干燥箱

机构

  • 69篇中国科学院微...
  • 3篇北京泰龙电子...
  • 2篇北京交通大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 69篇赵丽莉
  • 60篇夏洋
  • 42篇李楠
  • 36篇卢维尔
  • 24篇冷兴龙
  • 20篇刘涛
  • 19篇李超波
  • 18篇屈芙蓉
  • 13篇汪明刚
  • 13篇陈瑶
  • 13篇刘杰
  • 10篇李勇滔
  • 8篇刘键
  • 7篇景玉鹏
  • 3篇解婧
  • 3篇孙小孟
  • 3篇陈波
  • 2篇窦伟
  • 2篇邹志超
  • 2篇王欣

传媒

  • 3篇电子工业专用...
  • 1篇光学学报
  • 1篇材料导报
  • 1篇材料导报（纳...

年份

  • 3篇2024
  • 9篇2023
  • 5篇2022
  • 19篇2021
  • 4篇2020
  • 9篇2019
  • 4篇2018
  • 1篇2016
  • 2篇2014
  • 2篇2013
  • 5篇2012
  • 2篇2011
  • 3篇2010
  • 1篇2009
共 69 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种处理Ag<Sub>2</Sub>S薄膜的方法
本发明公开了一种处理Ag<Sub>2</Sub>S薄膜的方法，通过将硅衬底放置于原子层沉积的反应腔室中，将所述反应腔室抽真空；将三甲基膦六氟乙酰丙酮银装入原子层沉积设备的固态源加热源瓶内，加热所述固态源加热源瓶至第一温度...
卢维尔明帅强夏洋李楠赵丽莉
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一种等离子体浸没离子注入系统
本发明公开了一种等离子体浸没离子注入系统，包括：离子注入腔室、进气口、出气口、基片台、射频电源、脉冲电源；其中，所述等离子体浸没离子注入系统还包括：注入源，所述注入源与所述进气口连接，用于给所述离子注入腔室注入金属气体源...
赵丽莉邹志超窦伟李超波
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一种基于湿法清洗机的加热控制系统
本发明涉及一种基于湿法清洗机的加热控制系统。所述加热控制系统包括：加热器、液位传感器、液位断路器、第一数字温控器、第二数字温控器、功率控制器和一体机；所述第一数字温控器与所述加热器底部的加热丝相连，所述第二数字温控器与所...
赵丽莉李培源李楠陈波
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一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置
本发明公开了一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置，涉及石英晶体谐振器加工领域。所述方法包括：在石英晶片上下表面沉积第一预设厚度范围的第一金属、第二预设厚度范围的第二金属；获得下层电极；去除下层电极表面的光刻胶，在上...
许帆何萌刘涛冷兴龙李磊谭博仁张凌云夏洋李楠赵丽莉
一种离子注入剂量检测控制方法
本发明公开了一种等离子体浸没注入离子剂量检测控制方法，属于等等离子体浸没注入剂量检测技术领域。其方法首先测量等离子体特性参数以及等离子体中的粒子组分和各组分的粒子含量；将等离子体中的所有离子和基团的质量等效为同一质量；将...
汪明刚刘杰夏洋李超波陈瑶赵丽莉李勇滔
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一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法
本申请公开了一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法，包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热...
明帅强赵丽莉李楠何萌卢维尔夏洋高雅增文庆涛李培源冷兴龙刘涛屈芙蓉
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保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪
一种保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪，包括：激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元；所述激光干涉子系统及其探测单元，包括激光器、动镜、保偏反射聚焦模块、分束器和激光探测器；所述白光干涉子系统及其探测单...
王博雨刘涛张凌云王玥陈楠冷兴龙李楠赵丽莉刘键景玉鹏何萌夏洋
一种制备有机大面积单晶阵列的装置
本发明公开了一种制作大面积有机单晶阵列的装置，涉及半导体技术领域，装置包括：腔体，腔体具有一腔内空间；置样组件设于腔内空间预设高度；观样组件穿过腔体的第一预设位置设于置样组件的一侧；计算机控制组件和观样组件以及置样组件连...
胡智敏屈芙蓉夏洋权业浩王欣李楠卢维尔张凌云赵丽莉
一种等离子体浸没注入装置
本发明涉及半导体处理技术和设备领域，具体涉及一种等离子体浸没注入装置，包括气源、功率源、工作腔室、基片台和真空系统，所述基片台上方设有栅电极。本发明通过在现有装置中增加栅电极，使基片台上方特别是基片上方的电场分布变成了两...
汪明刚夏洋李超波刘杰李勇滔陈瑶赵丽莉
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近红外傅里叶变换偏振光谱仪
一种近红外傅里叶变换偏振光谱仪，包括：激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元；所述激光干涉子系统及其探测单元包括激光器、分束器、动镜、探测器和传感器；所述白光干涉子系统及其探测单元包括光源、滤波片、斩波器...
王玥张凌云王博雨陈楠冷兴龙刘涛李楠赵丽莉刘键景玉鹏何萌夏洋
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