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张庆钊

作品数:48 被引量:26H指数:3
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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领域

  • 10个电子电信
  • 8个机械工程
  • 7个自动化与计算...
  • 7个一般工业技术
  • 7个理学
  • 5个电气工程
  • 4个经济管理
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  • 4个轻工技术与工...
  • 4个交通运输工程

主题

  • 10个光刻
  • 9个等离子体
  • 8个电子束光刻
  • 8个刻蚀
  • 8个干法刻蚀
  • 8个X射线光刻
  • 7个等离子体刻蚀
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  • 6个电路
  • 6个对等离子体
  • 6个中功率
  • 6个网络
  • 6个纳米压印
  • 6个刻蚀工艺
  • 5个热压印
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机构

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  • 4个北京印刷学院
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作者

  • 10个张庆钊
  • 10个叶甜春
  • 10个朱效立
  • 10个谢常青
  • 10个刘明
  • 9个陈宝钦
  • 9个马杰
  • 8个赵珉
  • 7个陈军宁
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  • 7个李兵
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  • 6个陈大鹏
  • 6个夏洋
  • 5个余志平
  • 5个吴志刚
  • 5个王德强
  • 5个徐秋霞
  • 5个谢长青
  • 3个张晓华

传媒

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  • 7个微细加工技术
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  • 4个商业时代
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  • 4个中国计划生育...
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  • 4个植物学通报
  • 4个资源科学
  • 4个植物生态学报
  • 4个林业科学
  • 4个生态学报
  • 4个中国仪器仪表
10 条 记 录,以下是 1-10
国家重点基础研究发展计划
相关领域:天文地球 医药卫生 理学 农业科学 自动化与计算机技术
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国家自然科学基金
相关领域:医药卫生 理学 自动化与计算机技术 经济管理 农业科学
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国家高技术研究发展计划
相关领域:自动化与计算机技术 农业科学 电子电信 医药卫生 理学
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家高技术研究发展计划(2006AA843134)
相关领域:电子电信
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家重点基础研究发展计划(2007CB935302)
相关领域:电子电信 理学 机械工程 自动化与计算机技术
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家自然科学基金(90607022)
相关领域:电子电信 自动化与计算机技术 理学 电气工程 一般工业技术
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家高技术研究发展计划(2006AA03Z355)
相关领域:电子电信 一般工业技术 机械工程
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家自然科学基金(60236010)
相关领域:电子电信 理学 自动化与计算机技术 一般工业技术 机械工程
相关作品相关人物相关机构相关资助相关领域
国家重点基础研究发展计划(G200036504)
相关领域:电子电信
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国家科技重大专项
相关领域:医药卫生 石油与天然气工程 天文地球 环境科学与工程 农业科学
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