柳益
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
- 供职机构：重庆光电技术研究所更多>>
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- BCCD沟道电势直流测试方法研究
- 2011年
- 提出了一种对BCCD(埋沟电荷耦合器件)沟道电势的直流测试方法,并对此进行了理论分析和实验研究,该方法能快速、准确地进行BCCD沟道电势测试,确定BCCD随栅压变化的沟道电势曲线。实验结果表明,选取宽长比为11/5的NMOS管、源电流为0.01μA的测试条件,能够很好地模拟BCCD的工作状态。通过对1 024×1 024可见光BCCD进行验证测试,证实该方法可靠。
- 汪凌韩恒利任利平廖晓航柳益苏玉棉岳志强
- 关键词：BCCD
- 硅基锗探测器低暗电流技术研究
- 2023年
- 本文针对波导型硅基锗探测器制造工艺中引入的锗表面损伤与铝穿刺对锗探测器暗电流的影响进行了研究。我们发现,锗表面损伤和铝穿刺会对探测器暗电流产生直接影响并导致其增加。为此,本文采用湿法腐蚀工艺去除锗表面损伤层,同时使用低温淀积钝化层、以及电极金属增加TIN阻挡层的工艺,有效降低了锗探测器的暗电流,同时保持了其良好的欧姆接触特性。
- 刘恋刘钟远郭安然龙梅柳益
- 关键词：暗电流
