您的位置： 专家智库 > >

张思敏

作品数：3 被引量：7H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇氧化锌
  • 2篇载气
  • 2篇室壁
  • 2篇罗茨
  • 2篇罗茨泵
  • 2篇晶向
  • 2篇分子泵
  • 1篇信息素
  • 1篇蚁群
  • 1篇蚁群算法
  • 1篇群算法
  • 1篇PID控制

机构

  • 3篇中国科学院微...

作者

  • 3篇张思敏
  • 2篇李楠
  • 2篇夏洋
  • 2篇卢维尔
  • 2篇程嵩
  • 1篇李超波
  • 1篇孙铁成

传媒

  • 1篇现代电子技术

年份

  • 1篇2019
  • 1篇2017
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法
本发明公开了用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法，属于半导体技术领域，本发明实施例通过将清洗好的衬底放入反应腔室中；开启罗茨泵和前级泵，并在抽真空的同时对样品盘、载气通道和腔室壁进行加热，在加热的过程中吹载气；当所述腔室壁...
张思敏夏洋卢维尔程嵩李楠
蚁群算法在PID控制中的应用及其参数影响被引量：7
2015年
鉴于传统PID参数整定方法的不足,提出了一种采用蚁群算法优化选取PID控制参数的方法。通过建立数学模型将PID控制参数选择问题抽象成路径选择问题,从而将蚁群算法成功的应用于PID参数优选,并对寻优过程进行了仿真。将结果与常用的临界比例度法整定的结果进行了比较,发现基于蚁群算法的PID参数优选方案可使系统超调量大幅减小,并明显缩短系统调节时间,具有良好的应用前景。此外,讨论了蚁群算法中的关键参数对算法性能的影响,对比了不同参数下算法的收敛速度和求解质量。
孙铁成张思敏李超波
关键词：PID控制蚁群算法信息素
一种用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法
本发明公开了用于生长单一晶向氧化锌的预处理方法，属于半导体技术领域，本发明实施例通过将清洗好的衬底放入反应腔室中；开启罗茨泵和前级泵，并在抽真空的同时对样品盘、载气通道和腔室壁进行加热，在加热的过程中吹载气；当所述腔室壁...
张思敏夏洋卢维尔程嵩李楠
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0