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杨刚

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：华北光电技术研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 2篇锑化铟
  • 1篇亚胺
  • 1篇亚胺化
  • 1篇三维电极
  • 1篇热蒸发
  • 1篇紫外
  • 1篇酰亚胺
  • 1篇离子束
  • 1篇离子束溅射
  • 1篇离子束溅射沉...
  • 1篇硫化
  • 1篇硫化镉
  • 1篇盲元
  • 1篇聚酰亚胺
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射沉积
  • 1篇焦平面
  • 1篇焦平面器件
  • 1篇光刻
  • 1篇光敏聚酰亚胺

机构

  • 3篇华北光电技术...
  • 1篇中国人民解放...

作者

  • 3篇杨刚
  • 2篇宁提
  • 2篇李忠贺
  • 1篇刘震宇
  • 1篇刘佳星
  • 1篇肖钰
  • 1篇郭喜

传媒

  • 2篇红外
  • 1篇激光与红外

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 1篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
锑化铟红外探测器的三维电极成型技术
2023年
锑化铟的电极因三维特性易产生侧壁断裂问题,互联的铟柱会侵入电极内部,影响锑化铟芯片的可靠性。使用离子束溅射沉积、热蒸发、磁控溅射等方法制备三维电极体系,并通过聚焦离子束(Focused Ion Beam, FIB)方法以及扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)对其进行表征。结果表明,通过热蒸发、磁控溅射制备的电极三维覆盖情况较好,但存在电极脱落和剥离困难的问题;离子束溅射沉积方法可通过改变沉积角度、移除修正挡板来实现锑化铟三维电极的高质量制备。
张泽群龚志红李忠贺李乾宁提杨刚
关键词：锑化铟热蒸发磁控溅射离子束溅射沉积
锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法
2020年
提出了一种锑化铟红外焦平面器件盲元分析方法。利用该方法,无需将器件背面减薄就能进行盲元测试与分析。基于这种封装方式,将器件倒置后,从芯片正面吸收光的照射,在互连、灌胶以及每一步磨抛工艺步骤后均可进行测试和分析。结果表明,该方法能够有效地分析和定位每步工序过程中产生的盲元情况,可解决现有技术手段中对红外焦平面器件因产生盲元导致像元失效而无法准确定位其出现在哪步工艺的问题。
肖钰杨刚范博文宁提刘震宇
关键词：锑化铟红外焦平面器件
光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用
2016年
介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏聚酰亚胺的应用能够简化近40%的制作工艺,提高了硫化镉紫外器件的生产效率和成品率。
郭喜李忠贺刘佳星杨刚
关键词：光敏聚酰亚胺硫化镉光刻亚胺化表面钝化
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