刘佳星
- 作品数：2 被引量：2H指数：1
- 供职机构：华北光电技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 小型化锑化铟探测器制备被引量：2
- 2020年
- 随着红外探测技术的不断发展,市场对红外探测器提出了越来越多的要求,如高分辨率、高工作稳定性、低成本、小型化等,红外探测器光敏芯片的制备技术随之向大面阵、小间距方向不断探索。基于市场需求,本文从技术发展的角度,研究采用离子注入技术、干法刻蚀技术制备台面结型焦平面阵列,实现高性能、窄间距、小型化光敏芯片的制备,为未来高分辨率芯片的制备奠定技术基础。文章介绍了128×128(15μm)、128×128(10μm)两款器件的制备,两款器件中测I-V性能良好,其中,128×128(15μm)器件杜瓦封装组件后性能表现良好。
- 李海燕刘佳星杜红燕杜孟新
- 关键词：锑化铟离子注入干法刻蚀
- 光敏聚酰亚胺在硫化镉紫外器件中的应用
- 2016年
- 介绍了光敏聚酰亚胺的特性及应用情况,将其引入到硫化镉紫外器件制作中,通过实验研究开发并掌握一种正性光敏聚酰亚胺的光刻工艺,亚胺化后将其作为硫化镉器件的表面钝化层,经过实验验证其粘附牢固度和光电性能满足使用要求。同时该光敏聚酰亚胺的应用能够简化近40%的制作工艺,提高了硫化镉紫外器件的生产效率和成品率。
- 郭喜李忠贺刘佳星杨刚
- 关键词：光敏聚酰亚胺硫化镉光刻亚胺化表面钝化
