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胡俊伟
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1
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供职机构:
中国电子科技集团公司第五十五研究所
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刘鑫
中国电子科技集团公司第五十五研...
王彦硕
中国电子科技集团公司第五十五研...
潘斌
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李彭瑞
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邹鹏辉
中国电子科技集团公司第五十五研...
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刘鑫
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用于半导体背面通孔金属化种子层的化学镀钯方法
本发明公开了一种用于半导体背面通孔金属化种子层的化学镀钯方法,通过强酸环境中钯离子及还原剂与半导体材料和金属表面发生强氧化还原反应在半导体材料和金属表面置换出一层钯晶种,其后在钯化学镀液中通过镀液的自激发在钯晶种上持续沉...
邹鹏辉
王彦硕
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