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郭忠君

作品数：3 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...

主题

  • 1篇石墨
  • 1篇太阳能
  • 1篇总线
  • 1篇系统设计
  • 1篇现场总线
  • 1篇离子注入
  • 1篇基于现场总线
  • 1篇硅片
  • 1篇PROFIB...
  • 1篇SIMOX
  • 1篇SOI
  • 1篇AS-I

机构

  • 3篇中国电子科技...

作者

  • 3篇郭忠君
  • 2篇吕文利
  • 2篇魏唯
  • 1篇贾京英
  • 1篇何华云
  • 1篇刘咸成
  • 1篇王慧勇

传媒

  • 3篇自动化与仪器...

年份

  • 1篇2013
  • 2篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计被引量：1
2012年
开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量。
郭忠君魏唯何华云吕文利王慧勇
关键词：现场总线PROFIBUS-DPAS-I
石墨舟自动装卸定位方法的研究与实现被引量：1
2013年
太阳能电池硅片定位技术直接影响石墨舟自动装卸系统的生产效率和碎片率。文章介绍了太阳能电池硅片自动装卸的定位方法,该方法应用在新研制的石墨舟自动装卸系统中,取得了生产效率大于1500片/小时、碎片率小于0.1%的理想效果。
郭忠君吕文利魏唯
一种氧离子注入的均匀性控制系统设计
2012年
在SIMOX工艺制作过程中,氧离子注入的均匀性对SOI材料表面硅厚度的均匀性和SiO2埋层厚度的均匀性起着直接的决定性的作用。文章介绍了一种氧离子注入均匀性控制系统的工作原理和设计方案,该方案应用于我所研制的强流氧离子注入机,取得了理想的效果。
郭忠君贾京英刘咸成
关键词：离子注入SOISIMOX
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共1页<1>
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