吕文利
- 作品数：5 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计被引量：1
- 2012年
- 开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量。
- 郭忠君魏唯何华云吕文利王慧勇
- 关键词：现场总线PROFIBUS-DPAS-I
- 石墨舟自动装卸定位方法的研究与实现被引量：1
- 2013年
- 太阳能电池硅片定位技术直接影响石墨舟自动装卸系统的生产效率和碎片率。文章介绍了太阳能电池硅片自动装卸的定位方法,该方法应用在新研制的石墨舟自动装卸系统中,取得了生产效率大于1500片/小时、碎片率小于0.1%的理想效果。
- 郭忠君吕文利魏唯
- 影响硅片翘曲度的设备因素分析被引量：2
- 2016年
- 剖析了多线切割的工作机理和硅片切割原理,对影响硅片翘曲度的设备关键部件进行理论分析,并通过切割试验来对分析的结果进行论证;同时,创建切割钢线的理想力学模型,利用偏微分方程对模型进行力学分析,分析出切割钢线工作时的振动特性,并进一步论证钢线振动诱发的加工特性对硅片翘曲度的影响。
- 蒋超吕文利邓斌
- 关键词：力学模型
- 蓝宝石多线切割设备及切割技术被引量：5
- 2013年
- 介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X0730-3/UM型线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线多线切割机理分析以及应用进行了初步的探讨。
- 吕文利王理正刘嘉宾
- 关键词：恒张力控制
- 陶瓷衬底的化学机械抛光技术研究被引量：3
- 2010年
- 介绍了薄膜集成电路陶瓷衬底的化学机械抛光技术,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响陶瓷衬底的化学机械抛光的因素,并用实验加以验证。
- 吕文利魏唯朱宗树蒋超
- 关键词：陶瓷衬底CMP薄膜集成电路
