魏唯
- 作品数:13 被引量:17H指数:3
- 供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域:电子电信电气工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
- 基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计被引量:1
- 2012年
- 开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量。
- 郭忠君魏唯何华云吕文利王慧勇
- 关键词:现场总线PROFIBUS-DPAS-I
- 石墨舟自动装卸定位方法的研究与实现被引量:1
- 2013年
- 太阳能电池硅片定位技术直接影响石墨舟自动装卸系统的生产效率和碎片率。文章介绍了太阳能电池硅片自动装卸的定位方法,该方法应用在新研制的石墨舟自动装卸系统中,取得了生产效率大于1500片/小时、碎片率小于0.1%的理想效果。
- 郭忠君吕文利魏唯
- 旋转底式软磁气氛烧结炉的开发与设计
- 2007年
- 自行研制开发了新一代软磁铁氧体烧结设备——旋转底式气氛烧结炉,它采用旋转底盘、全纤维高温炉衬、分区分组加热、循环强制冷却、计算机全自动控制等技术,具有批次产量大、温度和气氛均匀性好、控制精度高、产品一致性优、操作使用灵活等优越特性。特别适用于高磁导率锰锌铁氧体和低功耗软磁铁氧体等高档铁氧体材料的气氛烧结。
- 魏唯肖益波刘杰刘金平杨琦唐超凡
- 关键词:软磁铁氧体材料
- 高温MOCVD外延生长AlN材料研究被引量:1
- 2017年
- 采用自主研制的量产型高温MOCVD设备进行AlN的外延生长,重点研究高温生长对于Al N质量的提升,以及Al N生长速率的控制规律。结果表明:生长温度的提高对于Al N晶体质量的提升和表面粗糙度的减小有着重要影响,而Al N的生长速率受到温度、反应室压力和载气比例的综合影响;经过工艺优化后的Al N外延材料(002)面和(102)面X射线摇摆曲线半高宽分别达到80 arcsec和775 arcsec,表明高温MOCVD生长技术可以实现量产化高质量AlN外延材料的制备。
- 程文进巩小亮陈峰武彭立波魏唯
- 关键词:ALN晶体质量生长速率
- 软磁铁氧体烧结专用设备——钟罩式气氛烧结炉的研制被引量:6
- 2004年
- 自行研制开发了新一代软磁铁氧体烧结设备——钟罩式气氛烧结炉。它采用全纤维高温炉衬、分区分组加热、循环强制冷却、计算机全自动控制等技术,具有批次产量大、温度和气氛均匀性好、控制精度高、产品一致性高、操作使用灵活等优越特性。特别适用于锰锌高导软磁铁氧体和低功耗软磁铁氧体等高档铁氧体材料的气氛烧结。
- 魏唯甘和明刘杰刘金平肖益波杨琦
- 关键词:软磁铁氧体材料
- 钟罩式高温烧结炉被引量:1
- 1998年
- 研制出一台满足集成电路微组装工艺所需的高温烧结炉,介绍该烧结炉的结构组成和设计原理。
- 魏唯
- 关键词:IC
- UHVCVD外延设备的热场设计
- 2013年
- 介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。
- 李佳魏唯何华云宁宗娥
- 关键词:超高真空化学气相沉积锗硅
- GaN-MOCVD设备MO源注入摩尔流量的精确控制
- 2015年
- 分析了GaN-MOCVD设备中MO源注入摩尔流量控制的基本原理,给出了决定MO源注入摩尔流量的三个重要条件,然后针对于Ga N-MOCVD中5种常用的金属有机源,根据工艺生长的需要,分别给出了MO源注入摩尔流量精确控制的解决方案。
- 刘欣魏唯陈特超
- 关键词:半导体设备
- 全自动太阳能电池测试分选设备的研制
- 2011年
- 太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完全可以和国外同类设备相媲美。
- 唐超凡魏唯宁宗娥王学仕王娟贾京英颜秀文
- 关键词:太阳能电池电性能
- 高温MOCVD温度控制系统研究与设计被引量:3
- 2015年
- 温度控制技术是MOCVD控制系统关键技术之一,直接影响材料生长的质量。通过对温度控制系统的研究,分析了MOCVD温度控制特点,介绍了一种用于高温MOCVD设备的温度控制系统,着重讨论了温度串级控制及可变斜率控制方法在高温MOCVD设备中的应用。该系统控制效果良好,能进行稳定、均匀、高效的温度控制,为高温MOCVD的工艺研究奠下了坚实的基础。
- 林伯奇何华云毛朝斌魏唯胡晓宇
- 关键词:温度控制系统串级控制