何华云
- 作品数：11 被引量：15H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划电子信息产业发展基金国家电子信息产业发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>
- 基于现场总线的硅片自动装卸控制系统设计被引量：1
- 2012年
- 开发了一种基于现场总线的硅片自动装卸控制系统。系统采用PROFIBUS-DP总线和ASI总线相结合的控制方式,实现了PECVD石墨舟硅片的装卸过程自动化,提高了太阳能电池片生产线的生产效率和自动化水平,降低了劳动强度,提高了产品质量。
- 郭忠君魏唯何华云吕文利王慧勇
- 关键词：现场总线PROFIBUS-DPAS-I
- MOCVD工艺中源材料用量计算方法被引量：3
- 2007年
- 介绍了MO源和气态源实际用量的计算原理与方法,并在中国电子科技集团公司第四十八研究所研制的MOCVD设备中应用;提出了提高MO源利用率、降低工艺成本的三项措施。
- 胡晓宇何华云王慧勇
- 关键词：MOCVDMO源利用率反应器
- 基于以太网通讯模块的MOCVD设备控制系统设计被引量：2
- 2007年
- 根据MOCVD设备中控制量多、实时性强的要求,选用OMRON公司的10M以太网模块实现上位机与PLC之间的高速数据传输。介绍了以太网模块ETN21的安装与设置方法,给出基于UDP协议的以太网通讯程序。
- 胡晓宇杨友才何华云邹春艳王慧勇李学文
- 关键词：以太网MOCVDFINSPLC
- 生产型GaN MOCVD设备控制系统软件设计被引量：7
- 2006年
- 对“用于GaN的生产型MOCVD”设备控制系统的软/硬件结构、关键技术进行了描述,介绍了国外几种生产型GaNMOCVD设备控制系统的特点;分析了MOCVD设备控制技术的发展趋势。
- 胡晓宇何华云
- 关键词：GANMOCVD自动控制可编程控制器
- 双离子束溅射镀膜机的维修性分配和预计
- 2014年
- 分析了双离子束溅射镀膜机的设备原理、功能层次,参照《GJB/Z57维修性分配与预计手册》中的相关要求,根据各部件的故障率和维修经验数据,对双离子束溅射镀膜机进行维修性分配与预计。
- 胡晓宇何华云
- Modbus TCP通讯协议在高温MOCVD控制系统中的应用
- 2014年
- 介绍了四十八所自主研发的高温MOCVD设备及控制系统组成,并介绍了采用Modbus TCP协议实现旋转控制器与温控仪通讯的编程实例。
- 何华云林伯奇胡晓宇
- 关键词：MODBUSTCP
- UHVCVD外延设备的热场设计
- 2013年
- 介绍了超高真空化学气相沉积(UHVCVD)锗硅外延设备的加热室设计方法,完善了相关的炉体设计,相关温度指标达到设计标准。
- 李佳魏唯何华云宁宗娥
- 关键词：超高真空化学气相沉积锗硅
- 生产型GaN MOCVD(6片机)设备中的压力控制技术被引量：6
- 2006年
- 反应室压力控制稳定是保证工艺重复性和陡峭界面生长的关键之一。分析了影响压力控制精度的主要因素,介绍了采用软件、硬件结合的方法,通过闭环压力控制、差压控制、高精度流量控制和补偿气路设计等技术手段,实现高精度压力稳定性和无扰动气体切换,首次在国产生产型GaN-MOCVD(6片机)设备上生长出高质量的多量子阱蓝光LED外延材料。
- 何华云胡晓宇
- 关键词：GANMOCVD压力控制LED多量子阱
- MOCVD喷淋头的焊接工艺研究
- 2008年
- 喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件,其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理工艺方法,配合加工工装和焊接夹具,选择合理的基准面和焊接参数,降低了加工难度。
- 胡晓宇彭志虹何华云王慧勇
- 关键词：MOCVD工艺方法焊接夹具
- 工业控制计算机部件的可靠性分析被引量：2
- 2003年
- 以研华工控系列产品为例,对工业控制应用系统中计算机控制部件的可靠性指标、电磁兼容性认证等问题进行了分析,并提出了计算机控制部件的选型中应注意的几个问题。
- 胡晓宇何华云唐超凡
- 关键词：工业控制计算机可靠性失效率电磁兼容性
