蒋超
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 影响硅片翘曲度的设备因素分析被引量：2
- 2016年
- 剖析了多线切割的工作机理和硅片切割原理,对影响硅片翘曲度的设备关键部件进行理论分析,并通过切割试验来对分析的结果进行论证;同时,创建切割钢线的理想力学模型,利用偏微分方程对模型进行力学分析,分析出切割钢线工作时的振动特性,并进一步论证钢线振动诱发的加工特性对硅片翘曲度的影响。
- 蒋超吕文利邓斌
- 关键词：力学模型
- 晶硅太阳电池低压扩散工艺优化研究被引量：2
- 2017年
- 随着高效晶硅太阳电池技术的发展,低压扩散工艺以其均匀性好,产量大,成本低的优势,成为未来发展的主要方向。对低压扩散工艺进行优化研究可以提高扩散均匀性,从而提升晶硅电池光电转换效率。
- 郭进杨晓生陆运章任哲蒋超
- 关键词：均匀性
- 陶瓷衬底的化学机械抛光技术研究被引量：3
- 2010年
- 介绍了薄膜集成电路陶瓷衬底的化学机械抛光技术,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响陶瓷衬底的化学机械抛光的因素,并用实验加以验证。
- 吕文利魏唯朱宗树蒋超
- 关键词：陶瓷衬底CMP薄膜集成电路
