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朱宗树

作品数：1 被引量：3H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电路
  • 1篇陶瓷
  • 1篇膜集成电路
  • 1篇化学机械抛光
  • 1篇机械抛光
  • 1篇集成电路
  • 1篇薄膜集成电路
  • 1篇CMP
  • 1篇衬底

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇蒋超
  • 1篇朱宗树
  • 1篇吕文利
  • 1篇魏唯

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
陶瓷衬底的化学机械抛光技术研究被引量：3
2010年
介绍了薄膜集成电路陶瓷衬底的化学机械抛光技术,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响陶瓷衬底的化学机械抛光的因素,并用实验加以验证。
吕文利魏唯朱宗树蒋超
关键词：陶瓷衬底CMP薄膜集成电路
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