李英伟
- 作品数:6 被引量:18H指数:3
- 供职机构:上海大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:上海市教育委员会重点学科基金上海市科委科研计划项目更多>>
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- [101]取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究被引量:11
- 2007年
- 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了[101]取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理温度变化的规律.结果表明,399nm的发光峰是由Li的杂质能级引起;与[002]取向的薄膜相比,未经热处理的[101]薄膜其光学带隙大,且出现了380nm附近的带边发射(NBE)峰;在560~580℃热处理下,其晶胞变小、光学带隙变窄、360nm左右的带间发光峰红移;当热处理温度升至610℃时,薄膜中再次出现380nm的NBE峰.
- 朱兴文李勇强陆液李英伟夏义本
- 关键词:ZNO薄膜PL谱
- LP同质过渡层对ZnO薄膜结构性能的影响被引量:1
- 2008年
- 采用磁控溅射法低功率在玻璃衬底上制备低功率(LP)过渡层,再在其上高功率生长ZnO薄膜,研究了LP过渡层对薄膜结构性能的影响。XRD和SEM结果表明,引入LP过渡层后,高射频(RF)功率溅射的ZnO薄膜(002)定向性显著改善。随溅射功率的提高,薄膜(002)定向性有所下降,但致密性明显好转。与无过渡层薄膜相比,在溅射功率分别为30 W和50 W过渡层上生长的薄膜晶粒变大。研究表明,在30 W的LP过渡层上用200 W功率制备的薄膜性能最佳。
- 李勇强朱兴文李英伟马季夏义本
- 关键词:ZNO薄膜磁控溅射法
- 掺钠对氧化锌薄膜p-型转变的研究
- 作为一宽禁带Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体,ZnO薄膜材料的研究受到广泛的重视。ZnO薄膜材料在光电、压电、气敏传感器、集成光学、透明导电薄膜等领域具有广阔的应用。本论文采用溶胶.凝胶法在硅基片上制备了Na:ZnO薄膜,并对薄膜的...
- 李英伟
- 关键词:ZNO薄膜
- 文献传递
- 高RF功率制备的ZnO:Li薄膜性能研究
- 2006年
- 实验采用射频(RF)磁控溅射法在高射频功率(550 W)下制备了Zn0.9Li0.1O薄膜,探讨了薄膜的光学性能,并与低溅射功率制备的薄膜性能进行了比较。结果表明,高功率下溅射的薄膜晶粒均匀细小,表面平整致密,在可见光波长范围内,透过率达80%。该薄膜的光学带隙约3.29 eV,明显低于低功率溅射的薄膜(3.44 eV)。其室温光致发光(PL)谱结果显示,最强峰是由Li杂质能级引起的399 nm峰,热处理后,370 nm的带间发光峰增强,而低功率制备的薄膜其PL谱与纯ZnO材料的特征谱相似。
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- 关键词:ZNO薄膜磁控溅射法
- Na^+掺杂ZnO薄膜的结构和电学性能被引量:3
- 2007年
- 以醋酸锌为溶质、碳酸钠为钠源,采用溶胶-凝胶法在Si〈100〉衬底上制备了钠掺杂ZnO薄膜,掺杂浓度分别为0,0.018,0.036,0.045,0.063和0.09 mol/L。研究了钠掺杂后ZnO晶胞尺寸和表面形貌的变化规律,用霍尔效应仪测试了试样的载流子浓度及导电类型,分析了材料的拉曼光谱与试样内部缺陷浓度的关系。结果表明:Na+离子可进入ZnO晶格取代Zn2+,导致晶胞变大,同时ZnO薄膜由n-型转变为p-型导电;当Na+掺杂浓度达0.045 mol/L时,其电阻率为75.7Ω.cm,空穴浓度2.955×1017/cm3。
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- 关键词:ZNO薄膜溶胶-凝胶法
- Li、Mg掺杂ZnO薄膜PL特性研究被引量:5
- 2006年
- 采用溶胶-凝胶法在玻璃基片上制备了Li、Mg掺杂的ZnO薄膜,研究了薄膜的光致发光(PL)性能。结果表明,由氧缺位引起的深能级发光峰(450~470nm)的强度随Li和Mg掺杂量的增加而下降。Mg的添加会使薄膜的带边发射(NBE)增强,而Li的掺杂抑制了NBE峰,同时引发403nm的Li杂质能级峰,该能级位于价带顶0.29eV处。
- 朱兴文李英伟李勇强陆液夏义本
- 关键词:ZNO薄膜