林春芳
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 供职机构：上海材料研究所更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- Na^+掺杂ZnO薄膜的结构和电学性能被引量：3
- 2007年
- 以醋酸锌为溶质、碳酸钠为钠源,采用溶胶-凝胶法在Si〈100〉衬底上制备了钠掺杂ZnO薄膜,掺杂浓度分别为0,0.018,0.036,0.045,0.063和0.09 mol/L。研究了钠掺杂后ZnO晶胞尺寸和表面形貌的变化规律,用霍尔效应仪测试了试样的载流子浓度及导电类型,分析了材料的拉曼光谱与试样内部缺陷浓度的关系。结果表明:Na+离子可进入ZnO晶格取代Zn2+,导致晶胞变大,同时ZnO薄膜由n-型转变为p-型导电;当Na+掺杂浓度达0.045 mol/L时,其电阻率为75.7Ω.cm,空穴浓度2.955×1017/cm3。
- 李英伟林春芳周晓朱兴文
- 关键词：ZNO薄膜溶胶-凝胶法
