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罗台秦
作品数:
8
被引量:16
H指数:2
供职机构:
香港科技大学
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钱佩信
香港科技大学
张进书
香港科技大学
张鹏飞
清华大学
侯东彦
清华大学
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1998
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1997
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1996
1篇
1995
2篇
1994
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SOI MOSFETI-V特性的计算机模拟
被引量:2
1995年
本文研究了SOIMOSFET的I-V特性,建立了一套模拟SOI器件工作特性的解析模型,适用于不同的SOI膜厚和各种前、背栅的偏置情况,在各种不同情况下由计算机自动选择适当模型进行拟合,该模型物理意义明确,计算简便快速,所用参数易于提取。
王煜
张鹏飞
侯东彦
钱佩信
罗台秦
关键词:
计算机模拟
I-V特性
场效应晶体管
适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片
被引量:7
1997年
双金属效应是一种基本的物理效应,这一效应在硅微机械装置上的应用,有力地弥补了硅材料不具备压电效应,电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片.膜片尺寸为4mm×4mm×(20μm单晶硅+10μm金属铝).实验和分析结果表明,铝硅双金属膜片具有优越的力学特性,能提供足够大的动力和位移。这种集成的单片驱动结构不仅在材料及工艺上与IC工艺完全兼容,而且通过调整有关结构参数及工艺参数,可使该结构在5伏电压下稳定工作,为实现硅微机械系统(MEMS)奠定了基础.这种驱动方式是目前制造微阀门、微流量泵等需要大动力、大位移的硅微机械及其系统的理想驱动结构.
战长青
罗台秦
刘理天
钱佩信
关键词:
硅
微机械系统
MEMS
全耗尽SOI MOSFET的阈电压的解析模型
被引量:2
1996年
本文在近似求解全耗尽SOIMOSFET所满足的二维泊松方程的基础上,建立了阈电压的解析模型。通过与PISCES的模拟结果以及相应的实验数据的比较,证明本模型的误差较小。此外,本模型还具有计算简便、快速,形式直观,物理意义明确等优点。本模型的建立对于全耗尽SOIMOSFET电路模拟、器件物理特性研究及相关的工艺设计是很有意义的。
付军
田立林
钱佩信
罗台秦
关键词:
全耗尽
MOSFET
阈电压
场效应器件
熔区固液界面温度梯度的优化与再结晶SOI晶膜质量的提高
1994年
本文研究了多晶硅薄膜在红外熔区再结晶过程中熔化和固化前沿不同的推进行为,指出为了提高再结晶质量,熔区两侧对所得到的辐射能流密度分布有不同的要求,据此提出了一种兼顾熔化和固化要求的不对称加热区熔再结晶技术,成功地制备了高质量的SOI晶膜.
张鹏飞
侯东彦
杨景铭
钱佩信
罗台秦
关键词:
再结晶
硅
900MHz SiGe异质结双极晶体管的功率特性
被引量:4
1999年
本文对用准泡发射区基区工艺制备的SiGe异质结双极晶体管进行了微波功率性能的研究.SiGeHBT在偏置电压VCE=4V和偏置电流Ic=300mA时截止频率fT=7.5GHz.在共射结构C类工作状态下,SiGe异质结双极晶体管工作在900MHz时,连续波输出功率为5W,集电极转化效率为63%,功率增益为7.4dB.
张进书
金晓军
贾宏勇
陈培毅
钱佩信
罗台秦
杨增敏
黄杰
梁春广
关键词:
双极晶体管
功率特性
异质结
超高真空化学气相淀积法生长的n-Si/i-p^+-i SiGe/n-Si结构的透射电镜和二次离子质谱分析
被引量:1
1998年
本文用透射电镜(XTEM)和二次离子质谱(SIMS)分析了由超高真空化学气相淀积法(UHVCVD)生长的n-Si/i-p+-iSiGe/n-Si结构,发现在硅上外延生长i-p+-iSiGe时,在靠近Si的i/p+SiGe界面处存在一个很薄的层,但在i-p+-iSiGe上外延生长Si时,无此现象产生.此薄层是由在硅上外延生长i-p+-iSiGe时硼原子聚集在靠近Si的i/p+SiGe界面处形成的高掺杂薄层.高掺杂的薄层影响由此结构制备的异质结双极晶体管(HBT)的BC结的正向导通电压.
张进书
金晓军
钱佩信
罗台秦
关键词:
锗化硅
红外区熔再结晶SOI中形貌缺陷的产生与抑制
1994年
本文在研究多晶薄膜熔化前沿推进行为的基础上,指出SOI晶膜形貌缺陷的产生与固液界面的温度梯度有密切关系,从而提出了一种通过减小石墨条与样品间距以抑制缺陷产生的措施.
张鹏飞
侯东彦
杨景铭
钱佩信
罗台秦
关键词:
SOI
再结晶
熔化
多晶硅
准泡发射区基区SiGe异质结双极晶体管
1998年
本文报道一种新开发的与Si平面工艺兼容的准泡发射区基区工艺,以及由此工艺制备的适于大功率微波应用的SiGe异质结双极晶体管(HBT).SiGeHBT的电流增益为50,BVCBO为28V,BVEBO为5V.在900MHz共射C类工作状态下,连续波输出功率5W,集电极转化效率63%,功率增益7.4dB.
张进书
钱伟
陈培毅
钱佩信
罗台秦
王于辉
孙同乐
王庆海
高颖
梁春广
冯明宪
林其渊
关键词:
异质结
双极晶体管
锗化硅
HBT
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