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谢国芬

作品数：21 被引量：1H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 19篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇机械工程
  • 2篇电气工程

主题

  • 21篇加速度
  • 18篇加速度计
  • 15篇微加速度计
  • 13篇极板
  • 5篇电容
  • 5篇温度稳定性
  • 4篇闭环
  • 4篇差分电容
  • 3篇电极
  • 3篇杨氏模量
  • 3篇速度传感器
  • 3篇自诊断
  • 3篇微电子
  • 3篇微电子机械
  • 3篇微电子机械系...
  • 3篇微机械加速度...
  • 3篇温度特性
  • 3篇温度系数
  • 3篇加速度传感器
  • 3篇非线性

机构

  • 21篇中国工程物理...

作者

  • 21篇谢国芬
  • 17篇唐彬
  • 13篇刘显学
  • 13篇杨杰
  • 11篇许蔚
  • 7篇曲兵兵
  • 5篇张照云
  • 5篇赵宝林
  • 5篇王斌
  • 4篇陈俊
  • 3篇熊壮
  • 3篇杜连明
  • 3篇周浩
  • 2篇彭勃
  • 2篇苏伟
  • 1篇席仕伟
  • 1篇王旭光
  • 1篇陈颖慧
  • 1篇姚明秋
  • 1篇施志贵

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 4篇2024
  • 2篇2023
  • 3篇2020
  • 3篇2019
  • 4篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2014
  • 2篇2013
共 21 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
三轴电容式微加速度计
本实用新型提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加...
唐彬张照云谢国芬刘显学熊壮许蔚苏伟彭勃杜连明
文献传递
一种双差分的全硅结构的微加速度计
本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
三轴电容式微加速度计
本发明提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度...
唐彬张照云谢国芬刘显学熊壮许蔚苏伟彭勃杜连明
文献传递
一种八梁对称硅微加速度计
本发明提供了一种八梁对称硅微加速度计。所述电容式微加速度计从上到下包括上硅电极板、敏感芯片和下硅电极板三部分。敏感芯片为“质量块—悬臂梁”微结构。悬臂梁总共八根，对称分部在质量块四周，质量块处于中间水平位置。质量块厚度和...
唐彬谢国芬席仕伟程永生张德姚明秋
文献传递
一种双差分的全硅结构的微加速度计及其制造方法
本发明公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本发明首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k(ΔCa...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
一种低应力摆式微加速度计
本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔...
刘显学谢国芬张照云杨杰王斌陈俊
一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括：上电容极板、可动结构和下电容极板，可动结构位于上电容极板与下电容极板之间；可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块；边框包围在可动结构外侧；可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
谢国芬唐彬杨杰曲兵兵许蔚莫与明
文献传递
压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计
本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所...
刘显学赵宝林顾昊宇周浩唐彬杨杰谢国芬
一种开环微加速度计
本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容，上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接；下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反...
谢国芬唐彬曲兵兵刘显学许蔚莫与明
一种自适应调节平衡位置的MEMS闭环微加速度计
本发明公开一种自适应调节平衡位置的MEMS闭环微加速度计，该微加速度计还包括：第一解调模块，用于检测第一电容与第二电容之间的电容差值，并输出第一差分信号；第二解调模块，用于检测第一寄生电容和第二寄生电容之间的电容差值，并...
谢国芬陈俊黄健树刘猛刘显学赵宝林
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