刘显学
- 作品数：65 被引量：24H指数：4
- 供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
- 发文基金：国防科技技术预先研究基金国家自然科学基金中国工程物理研究院科技发展基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电气工程航空宇航科学技术交通运输工程更多>>
- 一种低应力摆式微加速度计
- 本发明涉及微电子机械系统技术领域，提供一种低应力摆式微加速度计，包括依次布置的上极板、中间极板和下极板。上极板和下极板均包括第一键合边框、电极区和第一应力主隔离梁，第一键合边框的内侧形成第一容置空间，电极区和第一应力主隔...
- 刘显学谢国芬张照云杨杰王斌陈俊
- 一体式石英双振梁加速度计及制备方法
- 本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于...
- 张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
- 压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计
- 本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所...
- 刘显学赵宝林顾昊宇周浩唐彬杨杰谢国芬
- 解耦z轴微机械陀螺的研制被引量：4
- 2011年
- 提出了一种检测模态解耦的z轴微机械陀螺,其检测模态被约束为1自由度振动,可抑制驱动模态的影响,降低不期望的检测模态偏置,并使用双质量结构在降低模态耦合的同时获得了较好的模态频率匹配。为满足驱动和检测模态自由度约束要求,使用了U形支撑梁。采用反应离子深刻蚀工艺制作了高深宽比结构层,获得了较大的验证质量,抑制了器件的机械热噪声,提高了陀螺分辨率。加工的陀螺面积为2 100μm×2 100μm,厚度为60μm。采用真空封装,获得了较高的机械品质因子。测试结果表明,驱动和检测模态的品质因子分别为2 000和1 800,机械热噪声为3.76(°)/h.Hz21。在±200(°)/s的量程内,刻度因子为21mV/(°).s-1,非线性度为1.426%FS,1h内测得零偏稳定性为0.057 9(°)/s。
- 周浩苏伟刘显学唐海林
- 关键词：微机械陀螺反应离子深刻蚀
- 双框架解耦微陀螺原理样机研制
- 2010年
- 为了把驱动工作模态和检测工作模态有效隔离,以减小模态间的互相干扰,设计了一种双框架解耦微机械陀螺。通过采用可工程化的鲁棒优化结构设计和工艺补偿的制造工艺,实现了工艺误差范围内的稳健设计。这种内外框架结构的微陀螺设计,包括自激闭环驱动电路和开环检测电路,对微陀螺进行测试,得到微陀螺驱动模态品质因素>2000,检测模态品质因素>800,量程为2400°/s,线性度<0.3%,灵敏度为1°/s。
- 唐海林刘显学周浩郑英彬张茜梅施志贵吴嘉丽
- 关键词：微陀螺检测电路
- 一种高冲击石英微开关
- 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种高冲击石英微开关。包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层。中间基板包括中间边框、第一质量块和第一悬臂梁...
- 刘显学张照云杨杰谢晋
- 一体式石英微开关
- 本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种一体式石英微开关。包括基于熔石英基片一体成型的石英微开关主体，石英微开关主体包括下极板、质量块、悬臂梁和基座。质量块的一端被构造成第一悬空端，质量块的另一端连接悬臂梁的一端，悬...
- 杨杰刘显学张照云谢晋
- 基于传感器标定系统的微陀螺频率特性检测方法
- 2006年
- 本文设计了一种利用丹麦B&K公司的9610型振动传感器标定系统对叉指式微陀螺的频率特性进行检测的方法;在分析微陀螺的受迫振动特性的基础上,阐述了频率特性的检测方法;设计了检测电路。
- 刘显学苏伟
- 关键词：频率特性微陀螺
- 基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化设计
- 2011年
- 提出了基于灵敏度分析的微机械陀螺稳健优化模型,开发了相应的稳健设计流程。以往的研究是将设计变量中的不确定量考虑为统计容差,与之不同的是,该设计采用最坏情况容差分析,优化算法使用遗传算法,采用键合-离子反应深刻蚀加工器件。灵敏度分析结果表明稳健设计结果对误差是不敏感的。同时进行了蒙特卡洛分析,结果表明有88.35%的样本是可接受的。
- 周浩苏伟刘显学唐海林
- 关键词：微机械陀螺稳健设计
- 一体式石英双振梁加速度计及制备方法
- 本发明的实施例公开了一种一体式石英双振梁加速度计及制备方法，该一体式石英双振梁加速度计包括：一体成型的装配区、挠性梁、振梁、质量块及金属电极，质量块通过挠性梁及振梁连接于装配区；挠性梁的上表面与质量块上表面之间的距离等于...
- 张照云唐彬刘显学苏伟高彩云沈朝阳熊壮许蔚彭勃
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