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杨杰

作品数：30 被引量：3H指数：1
供职机构：中国工程物理研究院电子工程研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电气工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 11篇电气工程
  • 4篇电子电信
  • 4篇自动化与计算...

主题

  • 18篇极板
  • 18篇加速度
  • 13篇加速度计
  • 9篇石英
  • 9篇微加速度计
  • 8篇微开关
  • 8篇开关
  • 7篇电极
  • 7篇感器
  • 7篇传感
  • 7篇传感器
  • 6篇悬臂
  • 6篇悬臂梁
  • 6篇一体式
  • 5篇速度传感器
  • 5篇温度稳定性
  • 5篇加速度传感器
  • 4篇导通
  • 4篇开关结构
  • 4篇边框

机构

  • 30篇中国工程物理...

作者

  • 30篇杨杰
  • 17篇刘显学
  • 14篇张照云
  • 13篇谢国芬
  • 11篇唐彬
  • 9篇赵宝林
  • 8篇许蔚
  • 6篇熊壮
  • 5篇曲兵兵
  • 5篇王斌
  • 4篇王旭光
  • 3篇周浩
  • 3篇陈俊
  • 2篇陶逢刚
  • 2篇姚明秋
  • 2篇郑英彬
  • 2篇沈朝阳
  • 2篇屈明山
  • 1篇席仕伟
  • 1篇张莉

传媒

  • 2篇太赫兹科学与...
  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 9篇2024
  • 9篇2023
  • 1篇2022
  • 1篇2020
  • 2篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 2篇2015
共 30 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种双差分的全硅结构的微加速度计
本实用新型公开了一种双差分全硅结构的微加速度计及其制造方法，涉及微电子机械系统领域。本实用新型首先通过基底耦合的方式，使4个类似的斜梁‑敏感质量块结构在外部环境的作用下都发生基本一致的形变；然后通过双差分的检测方法a=k...
许蔚杨杰谢国芬王斌刘显学唐彬
文献传递
一种石英微开关
本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种石英微开关，该开关包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层；中间基板包括中间边框、质量块和悬臂梁；中间电...
谢晋刘显学张照云杨杰
一体式高冲击石英微开关
本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种一体式高冲击石英微开关。基于熔石英基片一体成型的石英微开关主体，石英微开关主体包括基座、悬臂梁、质量块、下极板、下极板悬臂梁和下极板质量块。质量块通过悬臂梁连接至基座的上端，下...
张照云刘显学杨杰谢晋
一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括：上电容极板、可动结构和下电容极板，可动结构位于上电容极板与下电容极板之间；可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块；边框包围在可动结构外侧；可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
谢国芬唐彬杨杰曲兵兵许蔚莫与明
文献传递
压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计
本发明公开一种压电振动激励自诊断MEMS加速度计表芯及加速度计。所述加速度计表芯包括：上极板、中间极板、下极板和振动台，所述中间极板位于所述上极板和所述下极板正中间，所述中间极板通过一根悬梁连接到固定位置，所述上极板与所...
刘显学赵宝林顾昊宇周浩唐彬杨杰谢国芬
具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法
本发明涉及传感器技术领域，提供一种具有一体式应力隔离下极板的微加速度计及其加工方法。微加速度计包括下极板和连接至下极板的应力缓冲板。下极板包括下极板主体和与下极板主体一体成型的隔离结构，应力缓冲板包括应力缓冲板主体和位于...
杨杰赵宝林张照云熊壮屈明山李严军郑英彬
一种电容式微机械加速度传感器
本发明公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括：上电极板、敏感芯片和下电极板，敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块，悬臂梁及质量块均设置在框架内，悬臂梁上开设有贯...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
一种高冲击石英微开关
本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种高冲击石英微开关。包括由下至上通过键合连接的下极板、中间极板和上盖板。其中，中间极板包括中间基板和设置于中间基板下表面的中间电极层。中间基板包括中间边框、第一质量块和第一悬臂梁...
刘显学张照云杨杰谢晋
一种电容式微机械加速度传感器
本实用新型公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括：上电极板、敏感芯片和下电极板，敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块，悬臂梁及质量块设置在框架内，悬臂梁上开设有...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
文献传递
一体式石英微开关
本发明涉及微电子机械系统技术领域，公开了一种一体式石英微开关。包括基于熔石英基片一体成型的石英微开关主体，石英微开关主体包括下极板、质量块、悬臂梁和基座。质量块的一端被构造成第一悬空端，质量块的另一端连接悬臂梁的一端，悬...
杨杰刘显学张照云谢晋
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