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曲兵兵
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9
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供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
唐彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
许蔚
中国工程物理研究院电子工程研究...
谢国芬
中国工程物理研究院电子工程研究...
杨杰
中国工程物理研究院电子工程研究...
苏伟
中国工程物理研究院电子工程研究...
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一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括:上电容极板、可动结构和下电容极板,可动结构位于上电容极板与下电容极板之间;可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块;边框包围在可动结构外侧;可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
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唐彬
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莫与明
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一种开环微加速度计
本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容,上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接;下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反...
谢国芬
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一种电容式微机械加速度传感器
本发明公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括:上电极板、敏感芯片和下电极板,敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块,悬臂梁及质量块均设置在框架内,悬臂梁上开设有贯...
杨杰
唐彬
许蔚
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一种电容式微机械加速度传感器
本实用新型公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括:上电极板、敏感芯片和下电极板,敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块,悬臂梁及质量块设置在框架内,悬臂梁上开设有...
杨杰
唐彬
许蔚
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一种压电式微加速度传感器
本发明提供了一种压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板;其中,敏感芯片采用结构对称的环状结构,共包含八个上电极、八个下电极、八个压电层、支撑膜、质量块。所述的八个下电极置于支撑膜之上,八个压电层置于...
孙远程
姚明秋
苏伟
唐彬
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曲兵兵
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一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括:上电容极板、可动结构和下电容极板,可动结构位于上电容极板与下电容极板之间;可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块;边框包围在可动结构外侧;可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
谢国芬
唐彬
杨杰
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一种环状压电式微加速度传感器
本发明提供了一种环状压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板;其中,敏感芯片包含两个上电极、两个下电极、两个压电层、支撑膜、外框、质量块。所述的两个下电极置于支撑膜之上,两个压电层置于下电极之上,两个...
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姚明秋
苏伟
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一种电容式微机械加速度传感器
本发明公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括:上电极板、敏感芯片和下电极板,敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块,悬臂梁及质量块均设置在框架内,悬臂梁上开设有贯...
杨杰
唐彬
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一种开环微加速度计
本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容,上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接;下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反...
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