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文献类型

  • 9篇中文专利

领域

  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 9篇加速度
  • 5篇速度传感器
  • 5篇加速度传感器
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  • 5篇传感
  • 5篇传感器
  • 4篇电容
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  • 4篇微加速度计
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  • 3篇杨氏模量
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  • 3篇温度特性
  • 3篇温度稳定性
  • 3篇温度系数
  • 2篇等效电容
  • 2篇电容补偿
  • 2篇压电
  • 2篇压电层

机构

  • 9篇中国工程物理...

作者

  • 9篇曲兵兵
  • 9篇唐彬
  • 7篇谢国芬
  • 7篇许蔚
  • 5篇杨杰
  • 2篇陶逢刚
  • 2篇刘显学
  • 2篇姚明秋
  • 2篇孙远程
  • 2篇苏伟

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2020
  • 1篇2019
  • 3篇2018
  • 2篇2014
9 条 记 录,以下是 1-9
排序方式:
一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括:上电容极板、可动结构和下电容极板,可动结构位于上电容极板与下电容极板之间;可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块;边框包围在可动结构外侧;可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
谢国芬唐彬杨杰曲兵兵许蔚莫与明
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一种开环微加速度计
本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容,上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接;下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反...
谢国芬唐彬曲兵兵刘显学许蔚莫与明
一种电容式微机械加速度传感器
本发明公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括:上电极板、敏感芯片和下电极板,敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块,悬臂梁及质量块均设置在框架内,悬臂梁上开设有贯...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
一种电容式微机械加速度传感器
本实用新型公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括:上电极板、敏感芯片和下电极板,敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块,悬臂梁及质量块设置在框架内,悬臂梁上开设有...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
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一种压电式微加速度传感器
本发明提供了一种压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板;其中,敏感芯片采用结构对称的环状结构,共包含八个上电极、八个下电极、八个压电层、支撑膜、质量块。所述的八个下电极置于支撑膜之上,八个压电层置于...
孙远程姚明秋苏伟唐彬陶逢刚曲兵兵
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一种闭环微加速度计的敏感结构
本发明公开一种闭环微加速度计的敏感结构。该敏感结构包括:上电容极板、可动结构和下电容极板,可动结构位于上电容极板与下电容极板之间;可动结构包括边框、悬臂梁和可动质量块;边框包围在可动结构外侧;可动质量块的一侧通过悬臂梁固...
谢国芬唐彬杨杰曲兵兵许蔚莫与明
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一种环状压电式微加速度传感器
本发明提供了一种环状压电式微加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和上、下玻璃板;其中,敏感芯片包含两个上电极、两个下电极、两个压电层、支撑膜、外框、质量块。所述的两个下电极置于支撑膜之上,两个压电层置于下电极之上,两个...
孙远程姚明秋苏伟唐彬陶逢刚曲兵兵
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一种电容式微机械加速度传感器
本发明公开一种电容式微机械加速度传感器。电容式微机械加速度传感器包括:上电极板、敏感芯片和下电极板,敏感芯片包括框架、固定端与框架连接的悬臂梁、与悬臂梁的自由端连接的质量块,悬臂梁及质量块均设置在框架内,悬臂梁上开设有贯...
杨杰唐彬许蔚谢国芬莫与明曲兵兵
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一种开环微加速度计
本发明公开一种开环微加速度计。该开环微加速度计的敏感结构等效电路包括上极板、下极板、可动机构和校正电容,上极板通过第一开关与电源正极相连并通过第二开关与负反馈网络连接;下极板通过第三开关与电源负极相连并通过第四开关与负反...
谢国芬唐彬曲兵兵刘显学许蔚莫与明
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