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陈海滨

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 2个机械工程
  • 1个金属学及工艺
  • 1个文化科学

主题

  • 8个抛光
  • 8个化学机械抛光
  • 8个机械抛光
  • 8个SI
  • 7个使用期
  • 7个抛光垫
  • 7个硅片
  • 7个HAZE
  • 5个损伤层
  • 5个硅片表面
  • 3个数学模拟
  • 3个平整度
  • 3个硅片清洗
  • 2个单晶
  • 2个倒片
  • 2个氧化层
  • 2个异丙醇
  • 2个损伤缺陷
  • 2个体硅
  • 2个退火

机构

  • 8个北京有色金属...
  • 1个有色金属研究...

资助

  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家科技重大...
  • 2个国际科技合作...

传媒

  • 8个半导体技术
  • 5个微电子学
  • 3个稀有金属
  • 2个中国有色金属...
  • 2个第十五届全国...
  • 2个2014`全...
  • 2个中国有色金属...
  • 1个Journa...
  • 1个中国稀土学报
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 8个北京市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
葛钟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
索思卓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盛方毓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国栋
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄军辉
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阎志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：异丙醇 干燥法 硅片 SI 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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