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陈海滨
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2
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供职机构:
北京有色金属研究总院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
葛钟
北京有色金属研究总院
索思卓
北京有色金属研究总院
库黎明
北京有色金属研究总院
盛方毓
北京有色金属研究总院
张国栋
北京有色金属研究总院
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库黎明
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
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葛钟
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
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索思卓
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
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盛方毓
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
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张国栋
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
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黄军辉
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:300MM硅片 DSP 非均匀性 SI 化学机械抛光
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闫志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅片清洗 300MM硅片 硅片表面 清洗工艺
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所获资助
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阎志瑞
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:异丙醇 干燥法 硅片 SI 化学机械抛光
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