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黄军辉

作品数：3 被引量：10H指数：1
供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 10个电子电信
  • 3个金属学及工艺
  • 3个理学
  • 2个机械工程
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个动力工程及工...

主题

  • 10个抛光
  • 9个硅片
  • 9个SI
  • 8个损伤层
  • 8个化学机械抛光
  • 8个机械抛光
  • 7个使用期
  • 7个抛光垫
  • 7个硅片表面
  • 7个HAZE
  • 5个300MM硅...
  • 4个单晶
  • 4个抛光技术
  • 3个单晶硅
  • 3个电路
  • 2个单晶生长
  • 2个氮元素
  • 2个电阻率
  • 2个多晶
  • 2个多晶硅

机构

  • 10个北京有色金属...
  • 2个有色金属研究...
  • 1个浙江大学

资助

  • 4个国家高技术研...
  • 4个国际科技合作...
  • 3个国家科技重大...
  • 2个国家自然科学...
  • 1个天津市自然科...
  • 1个北京有色金属...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个河北省教育厅...
  • 1个河北省自然科...

传媒

  • 9个半导体技术
  • 6个微电子学
  • 4个稀有金属
  • 4个第十五届全国...
  • 3个Journa...
  • 2个中国有色金属...
  • 2个第十一届全国...
  • 2个中国有色金属...
  • 2个中国有色金属...
  • 2个2014`全...
  • 2个中国有色金属...
  • 2个2004年中...
  • 2个第十一届全国...
  • 1个物理学报
  • 1个矿业研究与开...
  • 1个光谱学与光谱...
  • 1个光散射学报
  • 1个人工晶体学报
  • 1个中国稀土学报
  • 1个电子显微学报

地区

  • 10个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
库黎明
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 抛光 300MM硅片 平整度 硅片表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖清华
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 离子注入 单晶硅 高温退火 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周旗钢
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅单晶 硅片 300MM硅片 单晶硅 直拉硅单晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万关良
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片 硅单晶 直拉硅单晶 电阻率 氧
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张国栋
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
葛钟
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：硅片表面 SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海滨
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 化学机械抛光 抛光垫 抛光 使用期
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
索思卓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：抛光 SI 硅片 300MM硅片 平整度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盛方毓
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：SI 硅片清洗 加热室 化学机械抛光 抛光垫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阎志瑞
供职机构：北京有色金属研究总院
研究主题：异丙醇 干燥法 硅片 SI 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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