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吴文涛

作品数：8 被引量：2H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
相关领域：电子电信金属学及工艺石油与天然气工程化学工程更多>>

合作作者

领域

  • 3个电子电信
  • 2个金属学及工艺
  • 1个化学工程
  • 1个石油与天然气...
  • 1个机械工程

主题

  • 2个电子束
  • 2个电子束曝光
  • 2个电子束曝光系...
  • 2个阵列
  • 2个扫描电镜
  • 2个光学
  • 2个光学系统
  • 2个高温计
  • 2个NBL
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化硅膜
  • 1个氮气
  • 1个等离子体
  • 1个低温冷凝泵
  • 1个低应力
  • 1个电磁阀
  • 1个电机
  • 1个镀膜
  • 1个端部

机构

  • 3个中国电子科技...

传媒

  • 3个电子工业专用...
  • 2个红外

地区

  • 3个江苏省
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申强
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：晶圆 手臂 陶瓷 光刻机 找平
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王振亚
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：红外发光二极管 红外传感器 光轴 近距 偏振片
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徐磊
供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所
研究主题：NBL 光学系统 电子束曝光系统 电子束 扫描电镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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