徐磊
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺更多>>
- 快速退火炉高温计的校温
- 2017年
- 作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某型进口快速退火炉,分析了其高温计的校温方法。介绍了热电偶和熔点测试采样方法,并采用这两种方法丰富了采样数据。通过线性计算估算了1000~1500℃范围内的校温数据;基于曲线拟合进行了数据采样,得到了更加准确的校温结果。通过比较,分析了两种校温方法各自的优缺点。结果表明,线性计算校温法更适用于1100℃以下的校温;曲线拟合校温法更适用于1100℃以上的校温。
- 徐磊王振亚吴文涛
- 关键词：高温计
- 基于NBL电子束曝光系统合轴研究被引量：1
- 2016年
- 详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
- 吴文涛王振亚徐磊
- 关键词：电子束
- 基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究被引量：1
- 2017年
- 详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态。
- 吴文涛徐磊王振亚
- 关键词：扫描电镜光学系统
