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文献类型

  • 4篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 2篇阵列
  • 2篇偏振
  • 2篇偏振片
  • 2篇近距
  • 2篇光轴
  • 2篇红外
  • 2篇红外传感
  • 2篇红外传感器
  • 2篇红外发光二极...
  • 2篇二极管
  • 2篇发光
  • 2篇发光二极管
  • 2篇感器
  • 2篇传感
  • 2篇传感器
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇电子束曝光系...
  • 1篇真空
  • 1篇扫描电镜

机构

  • 6篇中国电子科技...

作者

  • 6篇王振亚
  • 3篇吴文涛
  • 3篇徐磊
  • 2篇申强
  • 1篇殷履文
  • 1篇刁振国

传媒

  • 3篇电子工业专用...
  • 1篇红外

年份

  • 2篇2021
  • 2篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2011
6 条 记 录,以下是 1-6
排序方式:
一种阈值可调的近距阵列对射式红外传感器
本发明公开了一种阈值可调的阵列对射式红外传感器,包括:IC控制电路板、发射端固定板、红外发光二极管、A偏振片、B偏振片、B偏振片固定环、接收端固定板、光电二极管,所述的发射端固定板和接收端固定板连接在控制电路板上,固定板...
刘鼎铭王振亚申强
文献传递
基于NBL电子束曝光系统合轴研究被引量:1
2016年
详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
吴文涛王振亚徐磊
关键词:电子束
半导体专用设备的真空系统维修
2011年
描述了真空设备在半导体行业中的运用,通过分析影响真空设备极限真空度的3个主要原因,讲述了真空设备检修方法及措施。
殷履文刁振国王振亚
关键词:真空检漏
一种阈值可调的近距阵列对射式红外传感器
本实用新型公开了一种阈值可调的近距阵列对射式红外传感器,包括:IC控制电路板、发射端固定板、红外发光二极管、A偏振片、B偏振片、B偏振片固定环、接收端固定板、光电二极管,所述的发射端固定板和接收端固定板连接在控制电路板上...
刘鼎铭王振亚申强
文献传递
快速退火炉高温计的校温
2017年
作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某型进口快速退火炉,分析了其高温计的校温方法。介绍了热电偶和熔点测试采样方法,并采用这两种方法丰富了采样数据。通过线性计算估算了1000~1500℃范围内的校温数据;基于曲线拟合进行了数据采样,得到了更加准确的校温结果。通过比较,分析了两种校温方法各自的优缺点。结果表明,线性计算校温法更适用于1100℃以下的校温;曲线拟合校温法更适用于1100℃以上的校温。
徐磊王振亚吴文涛
关键词:高温计
基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究被引量:1
2017年
详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态。
吴文涛徐磊王振亚
关键词:扫描电镜光学系统
共1页<1>
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