吴文涛
- 作品数：8 被引量：2H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第五十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信金属学及工艺石油与天然气工程化学工程更多>>
- 基于NBL电子束曝光系统合轴研究被引量：1
- 2016年
- 详述了电子束曝光系统的原理、种类、系统的构成和合轴的原理,以及如何使NBL(微纳投影)电子束曝光系统更好、更快地进行合轴,从而使NBL电子束曝光机处于最佳工作状态。
- 吴文涛王振亚徐磊
- 关键词：电子束
- 一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体及清洁方法
- 本发明公开了一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体及清洁方法。外挂式腔体包括一路正面喷淋异丙醇的管路、一路正面喷淋去离子水的管路、一路背面喷淋异丙醇的管路、一路背面喷淋去离子水的管路、一路热氮气烘干管路、腔门和控制模块；...
- 张泽东周健申强苏杭吴文涛
- 文献传递
- 一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体
- 本实用新型公开了一种清洁沾有有机溶液的手臂的外挂式腔体。外挂式腔体包括一路正面喷淋异丙醇的管路、一路正面喷淋去离子水的管路、一路背面喷淋异丙醇的管路、一路背面喷淋去离子水的管路、一路热氮气烘干管路、腔门和控制模块；前述各...
- 张泽东周健申强苏杭吴文涛
- 文献传递
- 采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路
- 本实用新型涉及采用永磁铁内置的可拆卸式吸附装置的循环流路，属于半导体设备领域。被冷却装置分别接入冷却水输入管路及冷却水输出管路，位于冷却水输入管路中接入可拆卸式吸附装置；可拆卸式吸附装置的输入端、输出端还并联旁路管路；可...
- 祖二健周健张泽东申强吴文涛
- 一种防止生成物因冷凝而沉积的控温装置及其控制方法
- 本发明公开一种防止生成物因冷凝而沉积的控温装置及其控制方法，控温装置包括厂务进水调压阀、进水手阀、电磁阀、第一水流量计、接触式测温计、比例电磁阀、第二水流量计、控制模块、回水手阀、温度设定模块和报警采集模块；在非生产状态...
- 张泽东周健乔路申强祖二健吴文涛
- 可切换共用的低压化学气相沉积类设备冷阱装置
- 本实用新型公开了一种可切换共用的低压化学气相沉积类设备冷阱装置，包括备用冷阱支路及两个以上的炉管真空系统，每一个炉管真空系统均包括有炉管、真空泵及冷阱流路，冷阱流路包括冷阱，备用冷阱支路包括备用冷阱；备用冷阱通过前置切换...
- 周健张泽东祖二健申强吴文涛
- 快速退火炉高温计的校温
- 2017年
- 作为半导体生产中的一种重要设备,快速退火炉需要实现精确、可靠的温度控制。它通常使用辐射式高温计来检测温度。在使用过程中,由于诸多原因,需要对高温计进行校温。基于某型进口快速退火炉,分析了其高温计的校温方法。介绍了热电偶和熔点测试采样方法,并采用这两种方法丰富了采样数据。通过线性计算估算了1000~1500℃范围内的校温数据;基于曲线拟合进行了数据采样,得到了更加准确的校温结果。通过比较,分析了两种校温方法各自的优缺点。结果表明,线性计算校温法更适用于1100℃以下的校温;曲线拟合校温法更适用于1100℃以上的校温。
- 徐磊王振亚吴文涛
- 关键词：高温计
- 基于SU8020扫描电镜光学系统合轴研究被引量：1
- 2017年
- 详述了扫描电镜的工作原理,特点;SU8020扫描电镜基本结构和光学系统的详细构成,以及如何使SU8020扫描电镜更快,更好地进行光学系统的合轴调试,从而使SU8020扫描电镜处于最佳的工作状态。
- 吴文涛徐磊王振亚
- 关键词：扫描电镜光学系统
