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杨新刚
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
杭州士兰集成电路有限公司
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相关领域:
电子电信
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合作作者
汤光洪
杭州士兰集成电路有限公司
杨富宝
杭州士兰集成电路有限公司
李志栓
杭州士兰集成电路有限公司
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半导体技术
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中国集成电路
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浙江省
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汤光洪
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:沟槽 刻蚀 半导体 光刻胶 功率器件
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所获资助
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杨富宝
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:常温 沟槽 回填 刻蚀 肖特基器件
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所获资助
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李志栓
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:沟槽 深槽刻蚀 刻蚀 乙硼烷 掺硼
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所获资助
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