您的位置: 专家智库 > >

领域

  • 1个自动化与计算...

主题

  • 4个氧化层
  • 4个离子
  • 4个离子注入
  • 4个光刻
  • 4个光刻胶
  • 4个硅片
  • 4个硅片表面
  • 4个剥落
  • 4个超薄
  • 4个超薄氧化
  • 4个超薄氧化层
  • 1个单晶
  • 1个单晶硅
  • 1个单晶硅片
  • 1个底片
  • 1个电镀
  • 1个电镀铜
  • 1个镀铜
  • 1个圆片
  • 1个衰减率

机构

  • 4个中国航天科技...

地区

  • 4个陕西省
4 条 记 录,以下是 1-4
李宁
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汪小军
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 高温处理 硅片表面 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付鹏
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张思申
供职机构:中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所
研究主题:超薄氧化层 剥落 硅片表面 光刻胶 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
聚类工具0