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陈雪平

作品数:13 被引量:0H指数:0
供职机构:杭州士兰微电子股份有限公司更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>

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刘琛
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:MEMS器件 外延层 发射区 介质层 硅片
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孙福河
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:差分式 MEMS器件 可变电容器 牺牲层 电容器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙伟
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:MEMS器件 衬底 空腔 结构层 灵敏度
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季锋
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:空腔 牺牲层 MEMS器件 半导体 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李晓伟
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:磁传感器 MEMS 倒角
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