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李晓伟

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇倒角
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇磁传感器

机构

  • 1篇杭州士兰集成...

作者

  • 1篇陈雪平
  • 1篇李晓伟

传媒

  • 1篇中国集成电路

年份

  • 1篇2016
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS磁传感器斜面Barber电极制作技术
2016年
本文介绍了一种在MEMS磁传感器中利用剥离工艺制作斜面barber电极的技术。通过研究曝光量、PEB温度和PEB时间对负胶倒角的影响得到最佳工艺条件,负胶形貌为倒梯形,等效倒角约69°。曝光量主要影响曝光区域链式反应的充分度;PEB温度和PEB时间主要影响链式反应后收缩应力的释放程度。优化后的工艺成功运用在MEMS磁传感器barber电极的制作中,平面和斜面barber电极无脱落异常。
方佼於广军闻永祥李晓伟陈雪平
关键词：倒角
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共1页<1>
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