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孙福河

作品数：20 被引量：0H指数：0
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领域

  • 4个电子电信
  • 4个自动化与计算...
  • 3个机械工程
  • 3个理学
  • 1个化学工程
  • 1个电气工程
  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学

主题

  • 5个刻蚀
  • 4个单芯片
  • 4个电化学腐蚀
  • 4个电极
  • 4个淀积
  • 3个短路
  • 3个堆叠
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  • 2个单晶
  • 2个单晶薄膜
  • 2个氮化硅
  • 2个电路
  • 2个电容式
  • 2个电容式压力
  • 2个电容式压力传...
  • 2个多晶
  • 2个形貌
  • 2个压电
  • 2个压电层

机构

  • 5个杭州士兰集成...
  • 2个杭州士兰微电...

传媒

  • 4个中国集成电路
  • 2个2014`全...
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 5个浙江省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
刘琛
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：MEMS器件 外延层 发射区 介质层 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈雪平
供职机构：杭州士兰微电子股份有限公司
研究主题：磁阻 单芯片 淀积 磁阻传感器 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹永辉
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：传动装置 蒸发系统 蒸发 基片 动力机构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季锋
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：空腔 牺牲层 MEMS器件 半导体 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙伟
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司
研究主题：MEMS器件 衬底 空腔 结构层 灵敏度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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