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罗宁
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杭州士兰集成电路有限公司
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合作作者
杨彦涛
杭州士兰集成电路有限公司
孙健
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李志栓
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杨彦涛
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:沟槽 功率器件 接触孔 功率半导体器件 半导体
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李志栓
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研究主题:沟槽 深槽刻蚀 刻蚀 乙硼烷 掺硼
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李小锋
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研究主题:BIPOLAR 发射区 外延层 氮化硅薄膜 双极
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冯荣杰
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孙健
供职机构:杭州士兰集成电路有限公司
研究主题:乙硼烷 掺硼 保质期 半导体制程 淀积
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