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孙健

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇中文专利

主题

  • 3篇淀积
  • 3篇乙硼烷
  • 3篇制程
  • 3篇硼烷
  • 3篇重复利用
  • 3篇半导体
  • 3篇半导体制程
  • 3篇保质期
  • 3篇掺硼

机构

  • 3篇杭州士兰集成...

作者

  • 3篇李志栓
  • 3篇罗宁
  • 3篇孙健
  • 3篇杨彦涛

年份

  • 1篇2018
  • 2篇2016
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
乙硼烷质量检测结构及检测方法
本发明提供了一种乙硼烷质量检测结构及检测方法，在介质层上淀积BPSG并回流，再检测BPSG中是否存在缺陷进而判断B<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>质量，可用于对B<Sub>2</Sub>H<Sub>6<...
李志栓杨彦涛孙健罗宁
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乙硼烷质量检测结构
本实用新型提供了一种乙硼烷质量检测结构，包括：半导体衬底、介质层以及采用包含乙硼烷的材料形成并经过回流的掺硼的磷硅玻璃，所述介质层形成于半导体衬底上，所述掺硼的磷硅玻璃形成于介质层上。通过在介质层上淀积BPSG并回流，再...
李志栓杨彦涛孙健罗宁
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乙硼烷质量检测结构及检测方法
本发明提供了一种乙硼烷质量检测结构及检测方法，在介质层上淀积BPSG并回流，再检测BPSG中是否存在缺陷进而判断B<Sub>2</Sub>H<Sub>6</Sub>质量，可用于对B<Sub>2</Sub>H<Sub>6<...
李志栓杨彦涛孙健罗宁
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