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刘金声
作品数:
3
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
洗鼎昌
中国科学院
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中国科学院
伊福廷
中国科学院
晋明
中国科学院
吕庆年
中国科学院
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晋明
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 夹钳 掩模 微细加工 聚甲基丙烯酸甲酯
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王德安
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:钨 光电子学 阵列 W CNT
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吕庆年
供职机构:中国科学院
研究主题:铼 钨 光电子学 热阴极 热电子发射
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刘光诒
供职机构:中国科学院
研究主题:真空微电子学 CDSE 碳 电子发射体 硒化镉
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王乃强
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 掩模制造 掩模
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洗鼎昌
供职机构:中国科学院
研究主题:LIGA技术 掩模制造 掩模
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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