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洗鼎昌

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：中国科学院更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇掩模
  • 1篇掩模制造
  • 1篇LIGA技术

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇晋明
  • 1篇伊福廷
  • 1篇刘金声
  • 1篇王乃强
  • 1篇洗鼎昌

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇1995
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
LIGA技术的掩模制造被引量：5
1995年
ＬＩＧＡ技术是近几年才发展起来的一门新的技术，包括光刻、电铸和塑铸。由于要进行深度Ｘ光曝光，所用的同步辐射Ｘ光较硬，这一曝光条件相应就需要Ｘ光掩模吸收体有较大厚度和较高的加工精度，这样才能够阻挡住Ｘ光，同时保证较高的光刻精度。这种掩模的加工一般需要分二步完成，首先要加工出一块不太厚吸收体图形的Ｘ光掩模，然后利用同步辐射Ｘ光将这一掩模翻制成较大厚度的ＬＩＧＡ技术用掩模。本文是利用紫外光曝光与氩离子刻蚀相结合，制造出吸收体图形厚度２微米的Ｘ光掩模，然后用同步光将这一掩模翻制成ＬＩＧＡ技术用的掩模。
伊福廷吴坚武晋明洗鼎昌刘金声王乃强
关键词：掩模LIGA技术
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